| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-22页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 半导体紫外探测器 | 第8页 |
| 1.3 氧化锌基紫外线探测器的发展和具体存在问题 | 第8-20页 |
| 1.4 论文选题依据和主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 氧化锌基半导体薄膜材料的制备及其表征手段 | 第22-27页 |
| 2.1 氧化锌基半导体薄膜材料的制备技术 | 第22-24页 |
| 2.1.1 射频磁控溅射技术简介 | 第22-24页 |
| 2.2 氧化锌基半导体薄膜的表征方法 | 第24-27页 |
| 2.2.1 X射线衍射分析（XRD） | 第24页 |
| 2.2.2 吸收透射分析（A-T） | 第24-25页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜（SEM） | 第25-26页 |
| 2.2.5 原子力显微镜（AFM） | 第26-27页 |
| 第三章 氧化锌基紫外探测器的制备方法及其表征手段 | 第27-31页 |
| 3.1 紫外探测器的光刻工艺 | 第27-29页 |
| 3.2 氧化锌基紫外探测器的性能表征手段 | 第29-31页 |
| 3.2.1 暗电流的分析测试 | 第30页 |
| 3.2.2 响应度的分析测试 | 第30-31页 |
| 第四章 不同插指长度的氧化锌基紫外探测器的制备及其性能研究 | 第31-35页 |
| 4.1 氧化锌薄膜的制备 | 第31页 |
| 4.2 不同插指长度的紫外探测器的制备及其性能研究 | 第31-35页 |
| 第五章 Pt纳米粒子修饰的硅衬底紫外光电探测器的性能研究 | 第35-40页 |
| 5.1 半导体紫外探测器的分类及其特性 | 第35-36页 |
| 5.2 Pt纳米粒子修饰的硅衬底光伏型紫外探测器的制备 | 第36-37页 |
| 5.3 硅衬底氧化锌薄膜探测器的性能测试 | 第37-40页 |
| 第六章 Pt纳米粒子修饰的双膜紫外光电探测器的制备及其性能研究 | 第40-51页 |
| 6.1 金属表面等离子激元的基本理论 | 第40-41页 |
| 6.2 Pt纳米颗粒修饰的双膜探测器的制备及其性能研究 | 第41-51页 |
| 6.2.1 Pt纳米颗粒修饰的双膜探测器的制备 | 第41页 |
| 6.2.2 Pt纳米颗粒修饰的双膜探测器的性能研究 | 第41-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第55-56页 |
