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蓝宝石选择性刻蚀技术的研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第10-24页
    1.1 研究背景及意义第10-11页
    1.2 国内外研究现状第11-21页
        1.2.1 选择性激光刻蚀技术简介第12-13页
        1.2.2 选择性激光刻蚀技术研究现状第13-16页
        1.2.3 飞秒激光加工蓝宝石作用机理研究第16-19页
        1.2.4 蓝宝石化学刻蚀原理第19-20页
        1.2.5 有待解决的问题第20-21页
    1.3 论文主要研究内容第21-24页
第2章 飞秒激光烧蚀蓝宝石加工参数研究第24-54页
    2.1 飞秒激光烧蚀蓝宝石的阈值模型第24-31页
    2.2 激光加工参数的影响规律及选择第31-37页
        2.2.1 激光波长、功率及脉冲数对加工的影响第31-32页
        2.2.2 焦点光斑几何尺寸计算第32-33页
        2.2.3 扫描速度对加工影响的分析与计算第33-37页
    2.3 飞秒激光扫描加工过程分析第37-39页
        2.3.1 焦点加工理论模型第37-38页
        2.3.2 不同表面形貌对加工过程影响第38-39页
    2.4 飞秒激光加工蓝宝石表面形貌仿真第39-48页
        2.4.1 加工路径规划方法第39页
        2.4.2 激光扫描路径规划第39-42页
        2.4.3 飞秒激光扫描加工仿真第42-48页
    2.5 蓝宝石飞秒激光加工实验第48-52页
        2.5.1 蓝宝石试样加工方案第48-50页
        2.5.2 蓝宝石试样加工结果分析第50-52页
    2.6 本章小结第52-54页
第3章 蓝宝石改性体超声化学刻蚀技术第54-70页
    3.1 超声振动试验装置研制第54-60页
        3.1.1 微动台柔性铰链结构设计计算第55-57页
        3.1.2 夹具铰链结构刚度有限元分析第57-59页
        3.1.3 超声振动实验台搭建第59-60页
    3.2 超声振动刻蚀正交试验设计第60-61页
        3.2.1 刻蚀液浓度选择第60页
        3.2.2 刻蚀过程影响因素选择及正交表设计第60-61页
    3.3 蓝宝石超声振动刻蚀实验及分析第61-67页
        3.3.1 超声振动刻蚀实验方法第61-64页
        3.3.2 实验结果分析第64-67页
        3.3.3 腐蚀层抛光验证实验第67页
    3.4 硫酸刻蚀实验第67-69页
        3.4.1 硫酸刻蚀实验参数选择第67-68页
        3.4.2 硫酸刻蚀实验过程及结果分析第68-69页
    3.5 本章小结第69-70页
第4章 蓝宝石改性体射流刻蚀及抛光研究第70-80页
    4.1 射流技术研究第70-72页
        4.1.1 射流技术分类第70-71页
        4.1.2 射流工作原理及特点第71-72页
    4.2 射流刻蚀实验第72-76页
        4.2.1 射流装置第72-73页
        4.2.2 射流刻蚀实验方案第73-74页
        4.2.3 射流刻蚀实验结果第74-76页
    4.3 磨料射流刻蚀实验第76-78页
        4.3.1 磨料选择第76页
        4.3.2 磨料射流刻蚀实验过程第76-77页
        4.3.3 磨料射流刻蚀实验结果分析第77-78页
    4.4 本章小结第78-80页
第5章 结论与展望第80-82页
    5.1 本文结论第80-81页
    5.2 展望第81-82页
参考文献第82-92页
作者简介及研究生期间取得的科研成果第92-94页
致谢第94-95页

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