蓝宝石选择性刻蚀技术的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-21页 |
| 1.2.1 选择性激光刻蚀技术简介 | 第12-13页 |
| 1.2.2 选择性激光刻蚀技术研究现状 | 第13-16页 |
| 1.2.3 飞秒激光加工蓝宝石作用机理研究 | 第16-19页 |
| 1.2.4 蓝宝石化学刻蚀原理 | 第19-20页 |
| 1.2.5 有待解决的问题 | 第20-21页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第21-24页 |
| 第2章 飞秒激光烧蚀蓝宝石加工参数研究 | 第24-54页 |
| 2.1 飞秒激光烧蚀蓝宝石的阈值模型 | 第24-31页 |
| 2.2 激光加工参数的影响规律及选择 | 第31-37页 |
| 2.2.1 激光波长、功率及脉冲数对加工的影响 | 第31-32页 |
| 2.2.2 焦点光斑几何尺寸计算 | 第32-33页 |
| 2.2.3 扫描速度对加工影响的分析与计算 | 第33-37页 |
| 2.3 飞秒激光扫描加工过程分析 | 第37-39页 |
| 2.3.1 焦点加工理论模型 | 第37-38页 |
| 2.3.2 不同表面形貌对加工过程影响 | 第38-39页 |
| 2.4 飞秒激光加工蓝宝石表面形貌仿真 | 第39-48页 |
| 2.4.1 加工路径规划方法 | 第39页 |
| 2.4.2 激光扫描路径规划 | 第39-42页 |
| 2.4.3 飞秒激光扫描加工仿真 | 第42-48页 |
| 2.5 蓝宝石飞秒激光加工实验 | 第48-52页 |
| 2.5.1 蓝宝石试样加工方案 | 第48-50页 |
| 2.5.2 蓝宝石试样加工结果分析 | 第50-52页 |
| 2.6 本章小结 | 第52-54页 |
| 第3章 蓝宝石改性体超声化学刻蚀技术 | 第54-70页 |
| 3.1 超声振动试验装置研制 | 第54-60页 |
| 3.1.1 微动台柔性铰链结构设计计算 | 第55-57页 |
| 3.1.2 夹具铰链结构刚度有限元分析 | 第57-59页 |
| 3.1.3 超声振动实验台搭建 | 第59-60页 |
| 3.2 超声振动刻蚀正交试验设计 | 第60-61页 |
| 3.2.1 刻蚀液浓度选择 | 第60页 |
| 3.2.2 刻蚀过程影响因素选择及正交表设计 | 第60-61页 |
| 3.3 蓝宝石超声振动刻蚀实验及分析 | 第61-67页 |
| 3.3.1 超声振动刻蚀实验方法 | 第61-64页 |
| 3.3.2 实验结果分析 | 第64-67页 |
| 3.3.3 腐蚀层抛光验证实验 | 第67页 |
| 3.4 硫酸刻蚀实验 | 第67-69页 |
| 3.4.1 硫酸刻蚀实验参数选择 | 第67-68页 |
| 3.4.2 硫酸刻蚀实验过程及结果分析 | 第68-69页 |
| 3.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第4章 蓝宝石改性体射流刻蚀及抛光研究 | 第70-80页 |
| 4.1 射流技术研究 | 第70-72页 |
| 4.1.1 射流技术分类 | 第70-71页 |
| 4.1.2 射流工作原理及特点 | 第71-72页 |
| 4.2 射流刻蚀实验 | 第72-76页 |
| 4.2.1 射流装置 | 第72-73页 |
| 4.2.2 射流刻蚀实验方案 | 第73-74页 |
| 4.2.3 射流刻蚀实验结果 | 第74-76页 |
| 4.3 磨料射流刻蚀实验 | 第76-78页 |
| 4.3.1 磨料选择 | 第76页 |
| 4.3.2 磨料射流刻蚀实验过程 | 第76-77页 |
| 4.3.3 磨料射流刻蚀实验结果分析 | 第77-78页 |
| 4.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 第5章 结论与展望 | 第80-82页 |
| 5.1 本文结论 | 第80-81页 |
| 5.2 展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-92页 |
| 作者简介及研究生期间取得的科研成果 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
