| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 等离子体介绍 | 第8页 |
| 1.2 低温等离子体与微电子工业 | 第8-10页 |
| 1.3 低温等离子体源简述 | 第10-13页 |
| 1.3.1 容性耦合等离子体源 | 第10-12页 |
| 1.3.2 感应耦合等离子体源 | 第12页 |
| 1.3.3 微波等离子体源 | 第12-13页 |
| 1.4 工业上对等离子体仿真的需求 | 第13-16页 |
| 1.5 本文研究内容和结构安排 | 第16-17页 |
| 2 应用于等离子体仿真的商业软件 | 第17-23页 |
| 2.1 COMSOL Multiphysics软件 | 第17-20页 |
| 2.1.1 COMSOL软件简介 | 第17页 |
| 2.1.2 COMSOL的等离子体模块 | 第17-20页 |
| 2.2 PEGASUS软件 | 第20-22页 |
| 2.2.1 PEGASUS软件简介 | 第20-21页 |
| 2.2.2 PEGASUS的等离子体模块 | 第21-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 MAPS仿真软件平台设计 | 第23-40页 |
| 3.1 MAPS软件向导 | 第23-24页 |
| 3.2 MAPS选择模块 | 第24-26页 |
| 3.3 MAPS前处理模块 | 第26-31页 |
| 3.4 MAPS后处理模块 | 第31-32页 |
| 3.5 MAPS理论模型 | 第32-39页 |
| 3.5.1 MAPS的流体力学模型 | 第32-37页 |
| 3.5.2 MAPS的PIC/MCC模型 | 第37-39页 |
| 3.5.3 MAPS的整体模型 | 第39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 MAPS与PEGASUS的仿真结果对比 | 第40-51页 |
| 4.1 容性耦合等离子体 | 第40-46页 |
| 4.1.1 电子密度二维空间分布 | 第40-42页 |
| 4.1.2 轴向电势分布 | 第42-43页 |
| 4.1.3 等离子体电势二维空间分布 | 第43页 |
| 4.1.4 频率对等离子体特征参量的影响 | 第43-45页 |
| 4.1.5 电压对等离子体特征参量的影响 | 第45-46页 |
| 4.2 感性耦合等离子体 | 第46-50页 |
| 4.2.1 电子密度二维空间分布 | 第47-49页 |
| 4.2.2 电势二维空间分布 | 第49页 |
| 4.2.3 轴向电子密度分布 | 第49-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |