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沉积条件对人工心瓣含硅低温热解炭微观结构的影响

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第1章 绪论第10-20页
   ·引言第10页
   ·碳的同素异构体第10-13页
   ·热解炭材料的分类第13-15页
     ·偏光显微镜下的分类第13页
     ·透射电镜下的分类第13-14页
     ·扫描电镜下的分类第14-15页
   ·人工心瓣含硅低温热解炭第15-17页
     ·人工心瓣第15-16页
     ·人工心瓣含硅低温热解炭第16-17页
   ·国内外研究现状第17-18页
   ·本文研究目的和主要内容第18-20页
第2章 材料制备与实验方法第20-24页
   ·引言第20页
   ·准稳态流化床化学气相沉积工艺第20-22页
     ·准稳态流化床第20页
     ·沉积装置第20-21页
     ·工艺参数的设定第21-22页
   ·材料分析方法第22-24页
     ·X 射线衍射分析(XRD)第22-23页
     ·扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)分析第23页
     ·密度第23-24页
第3章 X 射线衍射分析第24-39页
   ·引言第24-25页
   ·含硅低温热解炭涂层的衍射特点第25-28页
     ·热解炭的存在形式第25-26页
     ·碳化硅的存在形式第26-27页
     ·绝热法计算碳化硅质量分数第27-28页
   ·含硅低温热解炭全谱拟合第28-29页
     ·Rietveld 方法第28-29页
     ·Rietveld 方法全谱拟合精修过程第29页
   ·X 射线物相及定量结果第29-35页
     ·各样品衍射图谱第30-31页
     ·热解炭微晶层间距 d002分析第31-32页
     ·石墨化度分析第32-33页
     ·热解炭微晶尺寸 Lc 分析第33页
     ·碳化硅微晶尺寸和质量分数第33-35页
   ·基体附近热解炭微晶分析第35-38页
     ·X 射线入射深度第35-36页
     ·界面处热解炭微晶状态第36-38页
   ·小结第38-39页
第4章 热解炭微观形貌和密度第39-49页
   ·引言第39页
   ·扫描电镜和透射电镜观察分析第39-46页
     ·扫描电镜下形貌第39-42页
     ·透射电镜下形貌第42-45页
     ·颗粒团之间空隙和碳化硅微晶第45-46页
   ·密度分析第46-48页
   ·小结第48-49页
第5章 热解炭沉积机理探讨第49-58页
   ·引言第49页
   ·热解炭沉积机理第49-55页
     ·均气相反应第50-52页
     ·气固相反应第52-53页
     ·热解炭形核第53-55页
     ·热解炭沉积过程模型第55页
   ·沉积温度和丙烷浓度对沉积机理和微观结构的影响第55-57页
     ·低丙烷浓度第55-56页
     ·高丙烷浓度第56-57页
     ·沉积温度第57页
   ·小结第57-58页
第6章 总结与展望第58-60页
   ·总结第58-59页
   ·展望第59-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-65页
附录第65页

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