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磁控溅射制备Bi2Te3及Zr-Ni-Sn薄膜热电性能研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
主要符号对照表第8-10页
第1章 引言第10-24页
   ·热电效应及其应用第11-14页
     ·塞贝克效应第11-12页
     ·帕尔帖效应第12-13页
     ·汤姆逊效应第13-14页
   ·热电性能评价和优化第14-17页
     ·热电性能评价第14-15页
     ·热电材料的输运性质第15-17页
   ·热电材料的研究进展第17-22页
     ·Bi_2Te_3基热电材料第20-21页
     ·Half-Heusler 热电材料第21-22页
   ·课题研究的内容和意义第22-24页
     ·课题研究目的和意义第22-23页
     ·课题研究主要内容第23-24页
第2章 实验方法第24-35页
   ·实验原料和设备第24-25页
     ·原料第24页
     ·仪器第24-25页
   ·实验原理和方法第25-27页
     ·磁控溅射原理第25-26页
     ·退火处理第26-27页
   ·样品表征方法第27-35页
     ·基于 Van der Pauw 方法的霍尔及电导率测试第27-33页
     ·热导率测试第33-35页
第3章 一种快速的塞贝克系数测量设备第35-43页
   ·设备结构及测试原理第36-37页
   ·实验部分第37-40页
     ·测试过程第37-38页
     ·动态温度特性第38-39页
     ·塞贝克系数的计算第39-40页
   ·结果和讨论第40-42页
   ·本章小结第42-43页
第4章 铅掺杂对磁控溅射制备 Bi_2Te_3薄膜热电性能的影响第43-54页
   ·Bi_2Te_3薄膜制备第43-44页
   ·实验结果和讨论第44-52页
   ·本章小结第52-54页
第5章 磁控溅射制备 Zr-Ni-Sn 薄膜热电性能的研究第54-60页
   ·实验部分第54-55页
   ·实验结果讨论第55-59页
   ·本章小结第59-60页
第6章 结论第60-61页
参考文献第61-69页
致谢第69-71页
个人简历、在学期间发表的论文和研究成果第71-72页

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