偏振相移显微干涉超精表面形貌测量研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题的目的和意义 | 第8页 |
| ·超精密表面测量技术发展概况 | 第8-13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13页 |
| ·全文各章节内容 | 第13-15页 |
| 2 系统总体方案设计及原理分析 | 第15-21页 |
| ·测量系统总体结构及原理 | 第15-16页 |
| ·偏振相移干涉原理 | 第16-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 系统硬件结构设计 | 第21-30页 |
| ·系统机械结构设计 | 第21-26页 |
| ·系统光学元器件的选择 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 4 系统测量软件设计 | 第30-41页 |
| ·软件总体结构设计 | 第30-32页 |
| ·主控程序模块 | 第32-33页 |
| ·移相控制模块 | 第33-34页 |
| ·干涉图采样模块 | 第34页 |
| ·数据处理模块 | 第34-39页 |
| ·结果显示模块 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 测量系统精度实验及误差分析 | 第41-54页 |
| ·系统主要技术参数 | 第41-43页 |
| ·系统精度测试实验 | 第43-48页 |
| ·系统误差因素分析 | 第48-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 6 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·全文总结 | 第54页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表科研成果目录 | 第60页 |
