| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·研究意义 | 第10-11页 |
| ·光子晶体微腔研究进展 | 第11-12页 |
| ·论文结构安排 | 第12-14页 |
| 第二章 光子晶体以及光子晶体微腔 | 第14-26页 |
| ·光子晶体的基本概念 | 第14-16页 |
| ·光子晶体及其特性 | 第14-15页 |
| ·光子晶体的分类 | 第15-16页 |
| ·光子晶体的数值分析方法 | 第16-18页 |
| ·平面波展开法 | 第16-17页 |
| ·转移矩阵法 | 第17页 |
| ·时域有限差分法 | 第17-18页 |
| ·多重散射理论 | 第18页 |
| ·光子晶体微腔 | 第18-21页 |
| ·光子晶体微腔仿真方法 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 基于光子晶体环形腔结构的生物传感器性能分析 | 第26-36页 |
| ·简介 | 第26-28页 |
| ·结构设计 | 第28-29页 |
| ·结构参数r和ω_0对光子晶体微腔局域能力的影响 | 第29-30页 |
| ·结构参数r2和r1对光子晶体传感器灵敏度的影响 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 单排孔结构的光子晶体微腔的特性分析及应用研究 | 第36-46页 |
| ·简介 | 第36-37页 |
| ·结构设计 | 第37-38页 |
| ·结构参数对光子晶体微腔性能的影响 | 第38-39页 |
| ·基于单排孔的微腔应用于光强控制的光开关 | 第39-41页 |
| ·基于单排孔的微腔应用于光子晶体传感器 | 第41-43页 |
| ·基于单排孔的微腔应用于粗波分复用系统 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第五章 基于SOI的光子晶体制作实验 | 第46-67页 |
| ·简介 | 第46页 |
| ·光子晶体微腔测试平台 | 第46-47页 |
| ·实验平台器件参数分析 | 第47-53页 |
| ·激光器 | 第47-49页 |
| ·透镜光纤 | 第49页 |
| ·光纤微调架 | 第49-51页 |
| ·光功率计 | 第51-53页 |
| ·基于SOI的光子晶体的制备 | 第53-55页 |
| ·SOI简介 | 第53页 |
| ·光子晶体制备方法 | 第53-54页 |
| ·光子晶体制备流程 | 第54-55页 |
| ·光子晶体波导设计 | 第55-56页 |
| ·喇叭形波导 | 第55页 |
| ·光子晶体波导长度 | 第55-56页 |
| ·结构之间的间距 | 第56页 |
| ·基于EBL制作方法的光子晶体制作 | 第56-62页 |
| ·具体制作参数 | 第56-59页 |
| ·制作结果 | 第59-62页 |
| ·光子晶体后期制作 | 第62-66页 |
| ·光子晶体打磨 | 第62-64页 |
| ·光子晶体抛光 | 第64-65页 |
| ·光子晶体腐蚀 | 第65-66页 |
| ·本章总结 | 第66-67页 |
| 第六章 全文总结 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文与专利 | 第76页 |