铁电薄膜材料及在介质移相器中的应用研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 引言 | 第14-38页 |
| ·概述 | 第14-16页 |
| ·铁电薄膜研究进展 | 第16-30页 |
| ·铁电薄膜制备方法 | 第17-23页 |
| ·BST 铁电薄膜的性能优化 | 第23-28页 |
| ·其它铁电薄膜材料研究 | 第28-30页 |
| ·铁电薄膜移相器研究进展 | 第30-35页 |
| ·铁电薄膜移相器基本原理 | 第30-31页 |
| ·铁电薄膜移相器器件结构 | 第31-33页 |
| ·铁电薄膜移相器研究现状 | 第33-35页 |
| ·本论文的研究背景及内容 | 第35-38页 |
| 第二章 实验方法与分析测试 | 第38-45页 |
| ·陶瓷材料研究 | 第38-40页 |
| ·制备工艺 | 第38页 |
| ·微结构分析 | 第38-39页 |
| ·性能测试 | 第39-40页 |
| ·铁电薄膜研究 | 第40-45页 |
| ·射频磁控溅射 | 第40-42页 |
| ·分析与表征 | 第42-43页 |
| ·介电性能测试 | 第43-44页 |
| ·可靠性测试 | 第44-45页 |
| 第三章 BST 铁电薄膜研究 | 第45-78页 |
| ·临界晶粒尺寸研究 | 第45-52页 |
| ·晶粒尺寸控制 | 第46-48页 |
| ·晶化临界尺寸 | 第48-49页 |
| ·铁电临界尺寸 | 第49-51页 |
| ·临界尺寸与介电性能 | 第51-52页 |
| ·界面效应 | 第52-58页 |
| ·不对称现象 | 第52-54页 |
| ·界面层分析 | 第54-56页 |
| ·改善的介电性能 | 第56-58页 |
| ·基片取向影响 | 第58-64页 |
| ·晶体结构 | 第59-61页 |
| ·表面形貌 | 第61-62页 |
| ·介电性能 | 第62-64页 |
| ·漏电流特性 | 第64页 |
| ·XRD 研究 | 第64-72页 |
| ·样品制备与分析设备 | 第65页 |
| ·常规X 射线衍射分析(θ-2θ扫描、摇摆曲线) | 第65-67页 |
| ·X 射线掠入射mapping | 第67-69页 |
| ·三轴晶XRD | 第69-70页 |
| ·侧倾法极图 | 第70-72页 |
| ·可靠性研究 | 第72-77页 |
| ·温度特性 | 第73-74页 |
| ·频率特性 | 第74页 |
| ·疲劳特性 | 第74-76页 |
| ·批量一致性 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第四章 BZT、PST 铁电材料 | 第78-101页 |
| ·BZT 陶瓷材料研究 | 第78-84页 |
| ·BZT 陶瓷制备 | 第78-79页 |
| ·晶体结构 | 第79-80页 |
| ·介电系数温度关系 | 第80-82页 |
| ·电滞回线 | 第82-84页 |
| ·BZT 铁电薄膜研究 | 第84-90页 |
| ·BZT 薄膜制备 | 第84-85页 |
| ·晶体结构 | 第85-87页 |
| ·表面形貌 | 第87-88页 |
| ·铁电性能 | 第88-89页 |
| ·漏电流特性 | 第89-90页 |
| ·PST 陶瓷材料研究 | 第90-100页 |
| ·PST 陶瓷制备 | 第90页 |
| ·晶体结构 | 第90-92页 |
| ·微结构 | 第92-93页 |
| ·温度特性 | 第93-95页 |
| ·电滞回线 | 第95-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第五章 基片改性 | 第101-113页 |
| ·溶胶凝胶法制备薄膜的原理 | 第102-103页 |
| ·基片改性工艺过程 | 第103-105页 |
| ·优化工艺下基片改性结果 | 第105-107页 |
| ·改性基片上沉积的BST 薄膜 | 第107-112页 |
| ·底电极的微结构 | 第108-109页 |
| ·BST 薄膜的晶体结构 | 第109页 |
| ·BST 薄膜的表面形貌 | 第109-110页 |
| ·BST 薄膜的介电性能 | 第110-111页 |
| ·BST 薄膜的漏电流特性 | 第111-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 第六章 铁电薄膜移相器研究 | 第113-124页 |
| ·移相器结构 | 第114-116页 |
| ·移相器制作 | 第116-119页 |
| ·底电极的制备 | 第117页 |
| ·薄膜的制备与图形化 | 第117-118页 |
| ·上电极的制备与图形化 | 第118-119页 |
| ·移相器测试 | 第119-120页 |
| ·移相器优化结果 | 第120-123页 |
| ·小结 | 第123-124页 |
| 第七章 主要结论及创新点 | 第124-127页 |
| ·主要结论 | 第124-125页 |
| ·主要创新点 | 第125-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-144页 |
| 攻读博士期间取得的研究成果 | 第144-147页 |
