用于测量平晶透射波前的夏克哈特曼测试系统的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-11页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-8页 |
| ·夏克哈特曼技术发展历史 | 第8-9页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第9-11页 |
| 2 夏克哈特曼技术 | 第11-21页 |
| ·研究现状 | 第11-12页 |
| ·基本原理 | 第12-19页 |
| ·基本结构 | 第12-13页 |
| ·传感器图像处理流程 | 第13-17页 |
| ·Zernike多项式及波面拟合 | 第17-18页 |
| ·S-H波前传感器的探测误差分析 | 第18-19页 |
| ·检测光学元件和光学系统的应用 | 第19-20页 |
| ·元件面形测试结构 | 第19-20页 |
| ·测试光学系统成像质量结构 | 第20页 |
| ·透射波前测试系统结构 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 夏克哈特曼测试系统设 | 第21-43页 |
| ·系统组成分析设计 | 第21-33页 |
| ·被测物 | 第21-22页 |
| ·光源 | 第22-23页 |
| ·匹配光学系统的设计 | 第23-30页 |
| ·波前传感器 | 第30-33页 |
| ·系统结构设计 | 第33-35页 |
| ·系统整体结构设计 | 第33-34页 |
| ·辅助调试的光路机构设计 | 第34-35页 |
| ·系统功能 | 第35-42页 |
| ·系统功能及外观 | 第35-36页 |
| ·系统软件 | 第36-38页 |
| ·系统操作 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 实验 | 第43-57页 |
| ·调校实验 | 第43-49页 |
| ·平行光管调校测试 | 第43-46页 |
| ·点光源调校测试 | 第46-47页 |
| ·系统初始波前调校测试 | 第47-49页 |
| ·调校实验的目的和结果分析 | 第49页 |
| ·波前测量实验 | 第49-51页 |
| ·波前测量实验结果分析 | 第51页 |
| ·大口径与小口径之间的像差分析 | 第51-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 总结 | 第57-59页 |
| ·本文主要工作 | 第57-58页 |
| ·本文工作展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
