用于超高精度非球面面形检测的CGH的设计、制作及误差分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·非球面的基本概念 | 第12-16页 |
| ·非球面的定义 | 第12-13页 |
| ·与法线有关的重要性质 | 第13-15页 |
| ·非球面的非球面度 | 第15-16页 |
| ·非球面的检测方法 | 第16-21页 |
| ·工艺面检测法 | 第16-18页 |
| ·无像差点法 | 第18-19页 |
| ·补偿法 | 第19-20页 |
| ·计算全息法 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要工作 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 CGH 的制作 | 第23-31页 |
| ·常用 CGH 制作方法及制作过程概述 | 第23-24页 |
| ·常用 CGH 制作方法及制作过程 | 第23页 |
| ·利用电子束刻蚀 CGH 的制作过程 | 第23-24页 |
| ·CGH 常用的编码方法 | 第24-27页 |
| ·罗曼型编码 | 第25页 |
| ·迂回相位编码 | 第25-26页 |
| ·修正型离轴参考光编码 | 第26-27页 |
| ·电子束直写编码 | 第27-30页 |
| ·编码对象 | 第27页 |
| ·编码过程 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 用于非球面面形检测的 CGH 的设计方案 | 第31-45页 |
| ·基于标量衍射理论设计 CGH | 第31-37页 |
| ·基尔霍夫衍射理论 | 第32-33页 |
| ·夫琅和费衍射 | 第33-34页 |
| ·用惠更斯-菲涅尔原理设计 CGH | 第34-37页 |
| ·基于光线追迹理论设计 CGH | 第37-44页 |
| ·光线追迹法设计 CGH 的原理 | 第37-39页 |
| ·利用 Matlab 设计 CGH 的相位分布 | 第39-40页 |
| ·利用 Zemax 设计 CGH 的相位分布 | 第40-44页 |
| ·两种设计理论的比较 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 CGH 的误差分析 | 第45-67页 |
| ·二元线性光栅模型 | 第45-50页 |
| ·二元线性光栅模型 | 第45-48页 |
| ·衍射效率 | 第48页 |
| ·衍射波前相位函数 | 第48-49页 |
| ·衍射效率和衍射波前相位的敏感函数 | 第49-50页 |
| ·CGH 制作误差分析 | 第50-63页 |
| ·基底面形误差 | 第50-51页 |
| ·刻蚀占空比误差 | 第51-52页 |
| ·刻蚀深度误差 | 第52-53页 |
| ·占空比误差和刻蚀深度误差的优化分析 | 第53-58页 |
| ·刻蚀图案畸变误差 | 第58-59页 |
| ·直写编码误差 | 第59-63页 |
| ·CGH 误差分析实例 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 论文总结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
