硅基周期波导微腔集成光器件的研究
| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 插图 | 第11-15页 |
| 表格 | 第15-16页 |
| 缩写、符号清单、术语表 | 第16-17页 |
| 目次 | 第17-19页 |
| 1 绪论 | 第19-36页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·硅基集成光子学的发展 | 第20-21页 |
| ·光子晶体的研究现状 | 第21-27页 |
| ·光子晶体的数值计算方法简介 | 第27-30页 |
| ·光子晶体平面制备工艺 | 第30-32页 |
| ·集成光无源器件的测试方法 | 第32-34页 |
| ·本文的创新点和研究思路 | 第34-36页 |
| 2 介质波导的模式限制极限 | 第36-47页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·基本模型 | 第37-38页 |
| ·最小模斑尺寸及其波导尺寸条件 | 第38-43页 |
| ·计算与讨论 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 3 基于混合表面等离激元周期波导的高Q值微腔 | 第47-57页 |
| ·引言 | 第47-50页 |
| ·混合表面等离子周期波导 | 第50-51页 |
| ·混合表面等离子波导微腔的模型及设计 | 第51-52页 |
| ·计算及讨论 | 第52-55页 |
| ·本章小节 | 第55-57页 |
| 4 超低V超高Q狭缝及空芯周期波导微腔 | 第57-82页 |
| ·引言 | 第57-60页 |
| ·光子晶体微腔的高Q设计方法 | 第60-61页 |
| ·狭缝波导及空芯波导的模式特性 | 第61-62页 |
| ·超低V高Q周期波导微腔的设计和讨论 | 第62-81页 |
| ·本章小节 | 第81-82页 |
| 5 基于周期波导微腔的超紧凑通道下载滤波器 | 第82-98页 |
| ·引言 | 第82-83页 |
| ·基本模型和时间耦合模理论分析 | 第83-89页 |
| ·滤波器设计及数值计算 | 第89-95页 |
| ·本章小结 | 第95-98页 |
| 6 周期介质波导微腔的实验 | 第98-116页 |
| ·器件的制作平台 | 第98-99页 |
| ·测试方法 | 第99-100页 |
| ·CMOS工艺线制作平面光子晶体器件的实验 | 第100-101页 |
| ·EBL工艺制作波导微腔的实验 | 第101-114页 |
| ·工艺对比及讨论 | 第114页 |
| ·本章小节 | 第114-116页 |
| 7 总结和展望 | 第116-119页 |
| ·研究总结 | 第116-117页 |
| ·工作中的不足及展望 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-134页 |
| 作者简历 | 第134-135页 |
| 发表文章目录 | 第135-136页 |
