基于白光干涉原理的MEMS三维表面形貌测量技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·微机电系统 | 第11-15页 |
| ·三维表面形貌测量方法 | 第15-19页 |
| ·机械探针法 | 第15-16页 |
| ·光学探针法 | 第16-17页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第17-18页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第18页 |
| ·干涉显微法 | 第18-19页 |
| ·三维表面形貌测量方法的比较 | 第19-21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 白光干涉测量原理及设备 | 第23-31页 |
| ·单色光干涉特性 | 第23-24页 |
| ·白光干涉特性 | 第24-26页 |
| ·测量系统 | 第26-29页 |
| ·白光干涉测量原理 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 白光干涉图像预处理 | 第31-38页 |
| ·图像噪声 | 第31-32页 |
| ·图像去噪的主要方法 | 第32-35页 |
| ·空域滤波 | 第32-33页 |
| ·频域滤波 | 第33-34页 |
| ·小波滤波 | 第34-35页 |
| ·去噪方法的比较 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 白光干涉信号处理算法 | 第38-51页 |
| ·白光干涉信号处理常用算法 | 第38-46页 |
| ·重心法 | 第38-39页 |
| ·包络曲线拟合法 | 第39-44页 |
| ·幅度解调法 | 第39-40页 |
| ·傅立叶变换滤波法 | 第40页 |
| ·希尔伯特变换法 | 第40-42页 |
| ·小波变换法 | 第42-43页 |
| ·直接二次多项式拟合法 | 第43-44页 |
| ·移相法 | 第44-45页 |
| ·空间频域算法 | 第45-46页 |
| ·算法的分析与比较 | 第46页 |
| ·本文采用的算法 | 第46-50页 |
| ·均值平滑 | 第47-48页 |
| ·计算局部最大值 | 第48页 |
| ·筛选局部峰点 | 第48-49页 |
| ·提取信号包络 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 实验结果与讨论 | 第51-64页 |
| ·信号处理算法的仿真比较 | 第51-57页 |
| ·不同噪声等级的影响 | 第55-56页 |
| ·不同扫描步距的影响 | 第56-57页 |
| ·图像的采集 | 第57-59页 |
| ·白光干涉图像滤波预处理 | 第59-60页 |
| ·三维表面形貌重构 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 附件 | 第72页 |
