| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·铁电体及其基本特征 | 第9-11页 |
| ·铁电薄膜材料及发展概况 | 第11-13页 |
| ·铁电存储器的研究与进展 | 第13-19页 |
| ·课题来源与研究内容 | 第19-20页 |
| 2 BLT/PZT/BLT 薄膜的制备和测试方法 | 第20-32页 |
| ·铁电薄膜材料的选择 | 第20-21页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第21-24页 |
| ·BLT/PZT/BLT 薄膜的制备流程 | 第24-29页 |
| ·BLT/PZT/BLT 薄膜的结构和性能测试 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 BLT/PZT/BLT 铁电薄膜的结构和性能表征 | 第32-42页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·BLT 薄膜的制备与表征 | 第33-35页 |
| ·BLT/PZT 薄膜的制备与表征 | 第35-36页 |
| ·BLT/PZT/BLT 薄膜的制备与表征 | 第36-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 BLT 层对 BLT/PZT/BLT 薄膜结构和性能的影响 | 第42-51页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·BLT 层对薄膜取向和形貌的影响 | 第42-44页 |
| ·BLT/PZT/BLT 薄膜的疲劳特性分析 | 第44-48页 |
| ·BLT/PZT/BLT 薄膜的工艺和结构优化 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 全文总结 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |