| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·课题的来源及研究意义 | 第11-12页 |
| ·国内外发展动态 | 第12-14页 |
| ·直接驱动技术的发展与应用 | 第12页 |
| ·直接驱动X-Y平台的发展与应用 | 第12-13页 |
| ·直接驱动X-Y平台运动控制的研究方向 | 第13-14页 |
| ·直接驱动X-Y平台的控制方法及研究 | 第14-18页 |
| ·直接驱动运动控制策略 | 第14-16页 |
| ·直接驱动X-Y平台的轮廓控制策略 | 第16-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 直接驱动X-Y平台的数学模型及轮廓误差分析 | 第20-29页 |
| ·直接驱动X-Y平台工作原理及数学模型 | 第20-24页 |
| ·直接驱动X-Y平台的基本结构及工作原理 | 第20-22页 |
| ·直接驱动X-Y平台的数学模型 | 第22-24页 |
| ·X-Y平台的轮廓误差分析 | 第24-28页 |
| ·跟踪误差与轮廓误差的机理分析 | 第24-25页 |
| ·影响X-Y平台轮廓精度的因素 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 基于最优参数的永磁直线进给伺服系统扰动补偿控制 | 第29-46页 |
| ·基于二次型性能指标的最优位置控制器设计 | 第29-33页 |
| ·基于Parseval定理的干扰补偿器参数计算 | 第33-39页 |
| ·加入干扰补偿器的伺服最优位置控制 | 第39-41页 |
| ·仿真结果与实验分析 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 基于等效误差模型的X-Y平台等效滑模轮廓控制 | 第46-62页 |
| ·X-Y平台的等效误差模型 | 第46-52页 |
| ·等效误差模型原理 | 第46-51页 |
| ·直接驱动X-Y平台的等效误差模型 | 第51-52页 |
| ·等效控制滑模轮廓控制器的设计 | 第52-55页 |
| ·滑动模态的到达和存在条件 | 第52-53页 |
| ·等效控制及滑动模态方程 | 第53-55页 |
| ·直接驱动X-Y平台轮廓控制仿真分析 | 第55-61页 |
| ·控制器的性能指标 | 第55-56页 |
| ·圆形轨迹轮廓控制 | 第56-59页 |
| ·四瓣叶形轨迹轮廓控制 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 基于等效误差模型的X-Y平台超螺旋滑模轮廓控制 | 第62-76页 |
| ·超螺旋算法滑模轮廓控制器设计 | 第62-67页 |
| ·基于超螺旋控制律滑模方法的轮廓控制器设计 | 第63-67页 |
| ·超螺旋控制律设计与滑模面的选择 | 第67页 |
| ·直接驱动X-Y平台轮廓控制仿真分析 | 第67-75页 |
| ·运动轨迹的规划 | 第68-70页 |
| ·圆形轨迹轮廓控制 | 第70-73页 |
| ·四瓣叶形轨迹轮廓控制 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 直接驱动X-Y平台轮廓控制实验研究 | 第76-95页 |
| ·直接驱动X-Y平台轮廓控制系统实验装置 | 第76-80页 |
| ·控制系统硬件平台 | 第76-79页 |
| ·控制系统软件平台 | 第79-80页 |
| ·直接驱动X-Y平台轮廓控制系统实验方案 | 第80-82页 |
| ·直接驱动X-Y平台轮廓控制系统实验研究及分析 | 第82-94页 |
| ·等效滑模轮廓控制与位置跟踪控制实验 | 第82-88页 |
| ·超螺旋滑模轮廓控制与位置跟踪控制实验 | 第88-93页 |
| ·实验结果的分析比较 | 第93-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第七章 结论 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-103页 |
| 在学研究成果 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104页 |
