高分辨弹性反冲探测分析（ERDA）技术
| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-7页 |
| 第一章： 简介 | 第7-9页 |
| 1．1 核分析技术简介 | 第7页 |
| 1．2 ERD分析技术 | 第7-9页 |
| 第二章： 实验原理与方法 | 第9-15页 |
| 2．1 弹性反冲探测分析原理 | 第10页 |
| 2．2 多层分析 | 第10-14页 |
| 2．3 用Q3D做高分辨ERD分析实验原理 | 第14-15页 |
| 第三章： 实验设备 | 第15-31页 |
| 3．1 ΔE—E电离室望远镜 | 第15-25页 |
| 3．1．1 ΔE—E望远镜的鉴别原理 | 第16-17页 |
| 3．1．2 ΔE—E望远镜的结构 | 第17-20页 |
| 3．1．3 纵向型ΔE—E望远镜的制作 | 第20-25页 |
| 3．2 北京Q3D磁谱仪简介 | 第25-26页 |
| 3．3 轻、重离子焦面探测器 | 第26-28页 |
| 3．4 位置灵敏半导体探测器 | 第28-29页 |
| 3．5 HI-13串列静电加速器介绍 | 第29-31页 |
| 第四章： 实验步骤 | 第31-35页 |
| 4．1 用Q3D进行高分辨ERD测量实验 | 第31-33页 |
| 4．2 用位置灵敏半导体进行ERD测量实验装置 | 第33-34页 |
| 4．3 电子学和数据获取系统 | 第34-35页 |
| 第五章： 数据分析与处理 | 第35-47页 |
| 5．1 能量刻度 | 第35-37页 |
| 5．1．1 ΔAE—E望远镜的能量刻度方法一： | 第35-36页 |
| 5．1．2 ΔAE—E望远镜的能量刻度方法二： | 第36-37页 |
| 5．1．3 Q3D磁谱仪能量刻度： | 第37页 |
| 5．2 能谱转化成深度谱处理过程： | 第37-38页 |
| 5．3 Q3D磁谱仪ERD分析结果 | 第38-41页 |
| 5．3．1 C/LiF多层靶的ERD分析 | 第38-39页 |
| 5．3．2 氢元素的ERD分析 | 第39-40页 |
| 5．3．3 GaN中的杂质测量 | 第40-41页 |
| 5．4 位置灵敏探测器ERD分析结果 | 第41-42页 |
| 5．5 用纵向性DE-E探测器进行ERD分析结果 | 第42-43页 |
| 5．6 讨论 | 第43-47页 |
| 5．6．1 质量分辨和Z分辨 | 第43-44页 |
| 5．6．2 灵敏性 | 第44-45页 |
| 5．6．3 深度分辨率 | 第45页 |
| 5．6．4 改进和发展 | 第45-47页 |
| 第六章： 结论 | 第47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48页 |
