新型纳米三坐标测量机二维定位平台研究
| 合肥工业大学 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-8页 |
| 目录 | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-17页 |
| ·三坐标测量机简介 | 第13-14页 |
| ·纳米二维定位平台的发展趋势 | 第14-16页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·大行程纳米二维定位平台的现存问题 | 第16页 |
| ·论文的意义、来源与研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 纳米二维定位平台整体设计与关键技术 | 第17-26页 |
| ·前言 | 第17页 |
| ·纳米二维定位平台整体结构设计 | 第17-19页 |
| ·二维平台整体结构设计 | 第17-18页 |
| ·材料的选择 | 第18-19页 |
| ·设计中的关键技术 | 第19-25页 |
| ·导向模式的研究 | 第19-22页 |
| ·传统堆栈二维定位平台工作原理 | 第19-20页 |
| ·堆栈结构阿贝误差分析 | 第20-21页 |
| ·“共平面”导向模式 | 第21-22页 |
| ·高精度低摩擦磁浮滑动复合导轨的研究 | 第22-24页 |
| ·现代精密导轨概述 | 第22页 |
| ·磁浮-滑动复合导轨设计 | 第22-24页 |
| ·工作区与驱动区分离设计 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第三章 纳米二维定位平台结构设计 | 第26-45页 |
| ·前言 | 第26页 |
| ·工作区 | 第26-33页 |
| ·移动台结构 | 第26-30页 |
| ·结构设计 | 第26-29页 |
| ·精度设计 | 第29-30页 |
| ·内框架结构 | 第30-32页 |
| ·结构设计 | 第30-31页 |
| ·精度设计 | 第31-32页 |
| ·外框架结构 | 第32页 |
| ·结构设计 | 第32页 |
| ·精度设计 | 第32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| ·驱动区 | 第33-45页 |
| ·驱动区结构设计 | 第33-34页 |
| ·驱动系统选择与设计 | 第34-38页 |
| ·柔性铰链结构设计与分析 | 第38-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第四章 二维定位平台系统装调方法与标定试验 | 第45-49页 |
| ·前言 | 第45页 |
| ·系统装调方法 | 第45-46页 |
| ·标定试验及结果分析 | 第46-48页 |
| ·直线度标定 | 第46-47页 |
| ·驱动步距标定 | 第47-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第五章 结论与展望 | 第49-51页 |
| ·结论 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 附录 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58页 |
