微光学扫描器研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-7页
1 概述	第7-11页
·微光学扫描系统的国内外概况	第7-10页
·本文的研究工作	第10-11页
2 微光学扫描系统原理	第11-19页
·总体方案	第11页
·折射型微透镜扫描系统原理及衍射分析	第11-17页
·微反射镜扫描系统原理及衍射分析	第17-18页
·小结	第18-19页
3 微扫描系统衍射图样 matlab 模拟	第19-24页
·开普勒方式扫描器 matlab 模拟	第19-21页
·伽俐略方式扫描器 matlab 模拟	第21-22页
·镜片有相对位移时的 matlab 模拟	第22-23页
·小结	第23-24页
4 微镜阵列的制作方法	第24-38页
·光刻技术	第24-31页
·表面张力分析	第31-34页
·微镜的制作方法	第34-37页
·小结	第37-38页
5 微透镜扫描装置	第38-47页
·微透镜扫描机械装置	第38-43页
·驱动电路以及软件设计	第43-46页
·小结	第46-47页
6 实验研究	第47-57页
·微透镜制作	第47-54页
·正负微透镜的阵列焦距测试	第54页
·激光透射衍射光束分析	第54-56页
·小结	第56-57页
7 总结	第57-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-62页