聚酰亚胺（PI）绝缘薄膜材料的低温等离子体表面改性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·低温等离子体概述 | 第9-11页 |
| ·等离子体源及其诊断 | 第11-12页 |
| ·低温等离子体在绝缘材料方面的应用 | 第12-14页 |
| ·选题的背景与意义 | 第14-16页 |
| ·论文的主要内容和章节安排 | 第16-18页 |
| 2 低温等离子体源设计 | 第18-31页 |
| ·各种低温等离子体源比较 | 第18-24页 |
| ·表面波等离子体源设计 | 第24-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 低温等离子体诊断设计 | 第31-48页 |
| ·静电探针诊断 | 第31-42页 |
| ·微波诊断技术 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 4 聚酰亚胺的制备和表面改性 | 第48-63页 |
| ·聚酰亚胺概述 | 第48-53页 |
| ·实验原料与器材 | 第53-54页 |
| ·聚酰亚胺的制备 | 第54-55页 |
| ·表面改性装置及步骤 | 第55-57页 |
| ·聚酰亚胺性能测量 | 第57-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 5 等离子体对聚酰亚胺薄膜材料表面改性的理论分析 | 第63-68页 |
| ·电介质的击穿理论 | 第63-66页 |
| ·等离子体表面处理提高击穿场强原理 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 6 全文总结 | 第68-69页 |
| ·本论文的主要结论 | 第68页 |
| ·有待研究和解决的问题 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的文章 | 第74-75页 |
| 附录2 电调衰减器校准曲线 | 第75-76页 |
| 附录3 可变相移器校准曲线 | 第76页 |
