| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·溅射现象 | 第8-9页 |
| ·薄膜科学 | 第9-14页 |
| ·靶材溅射过程模拟的研究现状 | 第14-17页 |
| ·本论文工作的主要目的和研究意义 | 第17-19页 |
| 2 原子间相互作用势 | 第19-28页 |
| ·相互作用势研究的重要性 | 第19-20页 |
| ·常见原子间的相互作用势 | 第20-24页 |
| ·氩与铜原子、铜原子间相互作用势 | 第24-28页 |
| 3 离子与固体表面相互作用及溅射机理 | 第28-43页 |
| ·离子与固体表面的相互作用 | 第28-33页 |
| ·溅射的实验研究 | 第33-38页 |
| ·溅射机理 | 第38-43页 |
| 4 靶材溅射的SRIM 模拟 | 第43-57页 |
| ·SRIM 简介 | 第43-45页 |
| ·载能离子能量损失及射程 | 第45-49页 |
| ·溅射原子出射能量、位置和角度分布及溅射产额变化规律 | 第49-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 5 结论与展望 | 第57-59页 |
| ·主要结论 | 第57-58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间完成的论文 | 第65页 |