| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·刀具涂层技术发展及趋势 | 第8-10页 |
| ·涂层刀具的性能特点 | 第10页 |
| ·氮化铝钛涂层 | 第10-12页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第12-13页 |
| 第二章 薄膜形成过程的理论分析 | 第13-19页 |
| ·晶核的形成及其生长方式 | 第13-14页 |
| ·薄膜形成的热力学条件 | 第14-16页 |
| ·晶核形成速度 | 第16-17页 |
| ·连续薄膜的形成 | 第17-19页 |
| 第三章 氮化铝钛涂层制备工艺试验研究 | 第19-30页 |
| ·直流磁控溅射原理 | 第19-23页 |
| ·试验设备及材料 | 第23-26页 |
| ·预处理工艺 | 第26-28页 |
| ·沉积工艺 | 第28-30页 |
| 第四章 氮化铝钛涂层的微观组织成分分析 | 第30-38页 |
| ·涂层的X射线物相分析 | 第30-32页 |
| ·涂层的厚度分析 | 第32-34页 |
| ·涂层的SEM和能谱分析 | 第34-38页 |
| 第五章 氮化铝钛涂层的性能试验研究 | 第38-54页 |
| ·涂层的结合力分析 | 第38-41页 |
| ·涂层的纳米压痕分析 | 第41-50页 |
| ·切削试验分析 | 第50-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |