| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 前言 | 第11-13页 |
| 第二章 文献综述 | 第13-37页 |
| ·紫外光固化研究现状及前景 | 第13-21页 |
| ·紫外光固化特点 | 第13-14页 |
| ·紫外光固化体系 | 第14-15页 |
| ·紫外光固化材料 | 第15-19页 |
| ·光引发剂与光敏剂 | 第16-17页 |
| ·单体 | 第17-18页 |
| ·预聚物 | 第18-19页 |
| ·紫外光固化研究、应用现状及前景 | 第19-21页 |
| ·巯基/乙烯基体系紫外光聚合研究现状及前景 | 第21-30页 |
| ·巯基/乙烯基紫外光聚合体系概述 | 第21-23页 |
| ·巯基/乙烯基紫外光聚合机理 | 第23-28页 |
| ·乙烯基单体的结构 | 第24-26页 |
| ·巯基化合物的结构 | 第26-28页 |
| ·巯基/乙烯基紫外光聚合体系应用及前景 | 第28-30页 |
| ·本文研究背景 | 第30-37页 |
| ·传统 MEMS加工技术 | 第30-31页 |
| ·粉末烧结法 | 第31-32页 |
| ·化学气相沉积(CVD)法 | 第32页 |
| ·聚合物前驱体转化法 | 第32-36页 |
| ·展望及问题的提出 | 第36-37页 |
| 第三章 巯基化合物的合成及表征 | 第37-45页 |
| ·实验部分 | 第37-40页 |
| ·药品与仪器 | 第37-38页 |
| ·巯基化合物合成方法 | 第38-39页 |
| ·巯基化合物表征方法 | 第39-40页 |
| ·傅立叶变换红外光谱(FTIR)表征方法 | 第39-40页 |
| ·质子核磁共振(~1H-NMR)表征方法 | 第40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-44页 |
| ·傅立叶变换红外光谱(FTIR)表征 | 第40-42页 |
| ·质子核磁共振(~1H-NMR)表征 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 巯基/乙烯基硅氮烷体系紫外光聚合机理及动力学研究 | 第45-71页 |
| ·实验部分 | 第46-51页 |
| ·实验药品 | 第46-47页 |
| ·实验仪器 | 第47页 |
| ·实验方法 | 第47-51页 |
| ·样品的制备 | 第47页 |
| ·紫外光波长的选择 | 第47-48页 |
| ·紫外光照射实验 | 第48-49页 |
| ·傅立叶变换红外光谱(FTIR)原位跟踪 | 第49-50页 |
| ·紫外光差示扫描量热(UV-DSC)实时跟踪 | 第50-51页 |
| ·结果与讨论 | 第51-69页 |
| ·光聚合反应机理 | 第51-62页 |
| ·阻聚机理 | 第51-53页 |
| ·链增长反应机理 | 第53-58页 |
| ·链终止反应机理 | 第58-62页 |
| ·光聚合反应动力学 | 第62-67页 |
| ·巯基化合物官能度对反应动力学的影响 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 巯基/乙烯基硅氮烷体系光固化工艺及热裂解性能研究 | 第71-85页 |
| ·实验部分 | 第71-72页 |
| ·实验药品 | 第71页 |
| ·实验仪器 | 第71-72页 |
| ·实验方法 | 第72页 |
| ·傅立叶变换红外光谱(FTIR)原位跟踪 | 第72页 |
| ·紫外光差示扫描量热(UV-DSC)实时跟踪 | 第72页 |
| ·热失重分析(TGA)实验 | 第72页 |
| ·结果与讨论 | 第72-84页 |
| ·引发剂用量对固化特性的影响 | 第72-75页 |
| ·巯基与乙烯基配比对固化特性的影响 | 第75页 |
| ·光强对固化特性的影响 | 第75-78页 |
| ·温度对固化特性的影响 | 第78-80页 |
| ·热裂解性能分析 | 第80-84页 |
| ·巯基化合物结构对热裂解性能的影响 | 第81-82页 |
| ·巯基化合物官能度对热裂解性能的影响 | 第82页 |
| ·巯基/乙烯基配比对热裂解性能的影响 | 第82-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 结论 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文和参加科研情况 | 第91-93页 |
| 一、发表论文 | 第91页 |
| 二、申请专利 | 第91页 |
| 三、参加科研 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93-95页 |