MEMS核电池的能量转换结构设计与制备工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·半导体辐生伏特材料与辐生伏特电池分类 | 第8-11页 |
| ·半导体材料物理 | 第8-11页 |
| ·辐生伏特电池分类 | 第11页 |
| ·国内外伏生效应研究进展 | 第11-12页 |
| ·同位素电池的优越性及应用 | 第12-14页 |
| ·同位素电池的优越性 | 第12-13页 |
| ·同位素电池的应用 | 第13-14页 |
| ·本论文的研究目的和研究内容 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 同位素电池的结构与工作原理 | 第15-26页 |
| ·RMB电池的结构 | 第15-22页 |
| ·pn结 | 第15-17页 |
| ·电极区 | 第17-19页 |
| ·电镀区 | 第19-20页 |
| ·放射性同位素 | 第20-21页 |
| ·放射性同位素的选择 | 第21页 |
| ·放射源源制备技术 | 第21-22页 |
| ·RMB电池的工作原理 | 第22-24页 |
| ·伏生伏特效应 | 第23-24页 |
| ·载流子的传输 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 同位素电池能量转换结构参数设计与优化 | 第26-39页 |
| ·RMB能量转换结构设计 | 第26-29页 |
| ·V型槽能量转换结构 | 第27-28页 |
| ·倒金字塔型能量转换结构 | 第28页 |
| ·垂直侧壁方孔型能量转换结构 | 第28-29页 |
| ·RMB参数设计 | 第29-34页 |
| ·pn结参数优化 | 第34-38页 |
| ·结深优化 | 第34-36页 |
| ·掺杂浓度优化 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 同位素电池的制备技术 | 第39-56页 |
| ·能量转换结构的制备 | 第39-54页 |
| ·湿法腐蚀工艺 | 第40-46页 |
| ·扩散工艺 | 第46-51页 |
| ·剥离工艺 | 第51-54页 |
| ·半导体与放射源集成 | 第54-55页 |
| ·涂敷法 | 第54页 |
| ·电镀法 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 同位素电池性能研究 | 第56-63页 |
| ·电池性能测试指标 | 第56-58页 |
| ·影响电池性能的因素 | 第58-62页 |
| ·pn结特性 | 第58-60页 |
| ·放射源集成方法与剂量 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 全文总结 | 第63-64页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·结束语 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
