“8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-31页 |
| ·微机电械系统(MEMS)简介 | 第9-12页 |
| ·MEMS加工技术 | 第12-16页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第13-14页 |
| ·体微机械加工技术 | 第14页 |
| ·键合技术 | 第14-15页 |
| ·LIGA技术 | 第15-16页 |
| ·MEMS器件及应用 | 第16-22页 |
| ·国内MEMS的发展现状 | 第22-23页 |
| ·微机械加速度传感器 | 第23-30页 |
| ·加速度计的分类 | 第24-29页 |
| ·几种加速度计的定性比较 | 第29-30页 |
| ·本文的工作介绍 | 第30-31页 |
| 第2章 新型电容式加速度计设计与模拟 | 第31-45页 |
| ·电容式加速度计的基本数学模型 | 第31-33页 |
| ·电容式加速度计的工作原理 | 第33-34页 |
| ·新型"8悬臂梁-质量块"结构的电容式加速度计 | 第34-37页 |
| ·新型结构电容式加速度计的参数设计 | 第37-38页 |
| ·新型结构电容式加速度计的模拟分析 | 第38-40页 |
| ·新型结构与传统结构的比较 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 8悬臂梁-质量块结构加速度计的制作与测试 | 第45-60页 |
| ·关键的制作工艺介绍 | 第45-49页 |
| ·KOH各向异性腐蚀 | 第45-47页 |
| ·反应离子刻蚀 | 第47页 |
| ·剥离技术 | 第47-48页 |
| ·静电键合技术 | 第48-49页 |
| ·制作工艺背景简介 | 第49-50页 |
| ·8悬臂梁-质量块结构加速度计制作工艺流程 | 第50-53页 |
| ·8悬臂梁-质量块结构加速度计制作结果 | 第53-54页 |
| ·制作过程中出现的问题及解决 | 第54-56页 |
| ·KOH腐蚀时间及DRIE时间的控制 | 第54-55页 |
| ·释放结构时下层悬臂梁的保护 | 第55-56页 |
| ·测试结果及讨论 | 第56-58页 |
| ·器件性能测试结果 | 第56-58页 |
| ·讨论 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第4章 总结及展望 | 第60-62页 |
| ·本论文工作的主要内容 | 第60-61页 |
| ·下一步工作的展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
| 硕士期间发表论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
