基于MEMS的矢量水听器的研究
| 第1章 绪论 | 第1-20页 |
| ·概述 | 第8页 |
| ·矢量水听器国内外研究概况 | 第8-10页 |
| ·矢量水听器的分类 | 第10-12页 |
| ·矢量水听器的工作原理 | 第12-14页 |
| ·适于低频矢量水听器的MEMS传感器 | 第14-17页 |
| ·微传感器概述 | 第14-15页 |
| ·微电容式加速度传感器的研究现状 | 第15-17页 |
| ·MEMS技术简介 | 第17-18页 |
| ·MEMS的加工方法 | 第17-18页 |
| ·MEMS的发展 | 第18页 |
| ·本论文的主要工作 | 第18-20页 |
| 第2章 硅微电容式加速度传感器的工作原理 | 第20-31页 |
| ·硅微电容式传感器的工作原理 | 第20-25页 |
| ·变间隙电容式传感器 | 第20-24页 |
| ·信号转换电路 | 第24-25页 |
| ·电容式加速度传感器的稳定性问题 | 第25-28页 |
| ·温度的影响 | 第25-26页 |
| ·极化电压的影响 | 第26-28页 |
| ·电容式加速度传感器的动态特性分析 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 电容式加速度传感器的设计 | 第31-51页 |
| ·加速度传感器的研究方法 | 第31-32页 |
| ·单悬臂梁加速度传感器的分析 | 第32-44页 |
| ·微电容式加速度传感器的建模 | 第32-34页 |
| ·微电容式加速度传感器的模态分析 | 第34-37页 |
| ·微电容式加速度传感器的静态分析 | 第37-44页 |
| ·微电容式加速度传感器的动态性能仿真 | 第44-49页 |
| ·双悬臂梁连质量块的传感器分析 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 矢量水听器的设计与制作 | 第51-57页 |
| ·微电容加速度传感器的制作 | 第51-52页 |
| ·加速度传感器的性能测试 | 第52-53页 |
| ·矢量水听器的接收灵敏度 | 第53-54页 |
| ·矢量水听器的制作 | 第54-55页 |
| ·矢量水听器的测试 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
