| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| ·前言 | 第10页 |
| ·缓蚀剂概述 | 第10-13页 |
| ·缓蚀剂发展史 | 第10-11页 |
| ·缓蚀剂基础理论 | 第11-12页 |
| ·缓蚀剂的缓蚀协同作用 | 第12-13页 |
| ·铜缓蚀剂研究进展 | 第13-15页 |
| ·无机铜缓蚀剂 | 第13页 |
| ·唑类铜缓蚀剂 | 第13-14页 |
| ·胺类铜缓蚀剂 | 第14页 |
| ·铜缓蚀剂缓蚀协同作用研究进展 | 第14-15页 |
| ·氨基酸类缓蚀剂研究进展 | 第15页 |
| ·本论文选题意义与研究内容 | 第15-17页 |
| ·选题意义 | 第15页 |
| ·研究内容 | 第15-17页 |
| 2 实验方法及原理 | 第17-20页 |
| ·前言 | 第17页 |
| ·实验设备和试剂 | 第17-18页 |
| ·实验设备 | 第17页 |
| ·实验试剂 | 第17-18页 |
| ·实验原理 | 第18-20页 |
| ·失重法 | 第18页 |
| ·电化学测量 | 第18页 |
| ·量子化学计算 | 第18-19页 |
| ·表面分析技术 | 第19-20页 |
| 3 蛋氨酸与长烷基链季铵盐复配铜缓蚀剂增效机理研究 | 第20-34页 |
| ·前言 | 第20-21页 |
| ·实验方法 | 第21-22页 |
| ·实验材料和设备 | 第21页 |
| ·电化学实验 | 第21-22页 |
| ·量子化学计算 | 第22页 |
| ·扫描电镜及能谱 | 第22页 |
| ·实验结果与讨论 | 第22-33页 |
| ·电化学阻抗谱测量 | 第22-25页 |
| ·循环伏安研究 | 第25-27页 |
| ·极化曲线测量 | 第27-30页 |
| ·量子化学计算 | 第30-31页 |
| ·扫描电镜及能谱测量 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 芳香氨基酸与烷基咪唑复配铜缓蚀剂增效机理研究 | 第34-49页 |
| ·前言 | 第34-35页 |
| ·实验方法 | 第35-36页 |
| ·失重法 | 第35页 |
| ·电化学阻抗谱 | 第35页 |
| ·动电位极化曲线 | 第35-36页 |
| ·扫描电镜及能谱 | 第36页 |
| ·实验结果与讨论 | 第36-48页 |
| ·失重法测量 | 第36-37页 |
| ·电化学阻抗谱测量 | 第37-42页 |
| ·动电位极化曲线测量 | 第42-44页 |
| ·扫描电镜及能谱测量 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 月桂酰肌氨酸钠与谷氨酸复配自组装增效机理研究 | 第49-68页 |
| ·前言 | 第49-50页 |
| ·实验方法 | 第50-51页 |
| ·实验材料 | 第50页 |
| ·失重法 | 第50页 |
| ·电化学实验 | 第50页 |
| ·红外谱图 | 第50页 |
| ·接触角 | 第50页 |
| ·表面形貌及能谱 | 第50-51页 |
| ·实验结果与讨论 | 第51-66页 |
| ·失重法测量 | 第51-52页 |
| ·电化学阻抗谱测量 | 第52-59页 |
| ·极化曲线测量 | 第59-60页 |
| ·红外谱图测量 | 第60-62页 |
| ·接触角测量 | 第62-63页 |
| ·表面形貌及能谱测量 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 6 结论与展望 | 第68-70页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 作者在攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第80-82页 |
| 作者在攻读硕士学位期间所参与的项目 | 第82页 |