干涉仪测量的光强控制与抗振技术研究
| 第一章 引言 | 第1-10页 |
| ·课题研究背景 | 第7-8页 |
| ·本论文的主要研究工作内容 | 第8-10页 |
| 第二章 移相干涉原理 | 第10-17页 |
| ·干涉图的摄取 | 第10-13页 |
| ·干涉仪中瞳和窗 | 第10-12页 |
| ·干涉图的摄取 | 第12-13页 |
| ·干涉图的变倍和共轭 | 第13页 |
| ·光干涉计量测试系统及光路 | 第13-15页 |
| ·移相干涉术的基本原理 | 第15-17页 |
| 第三章 干涉仪光强的自动控制 | 第17-33页 |
| ·光强调节的必要性 | 第17-21页 |
| ·光照度不均匀的问题 | 第17-19页 |
| ·照度改变的问题 | 第19-21页 |
| ·光强调节系统工作原理 | 第21-22页 |
| ·光强调节系统中的相关介绍 | 第22-23页 |
| ·PSI 软件简介 | 第22页 |
| ·直流电机 | 第22页 |
| ·中性渐变滤光片 | 第22-23页 |
| ·通信程序设计 | 第23-28页 |
| ·平均光强的获取和相关判断 | 第23-24页 |
| ·PC 机和单片机间的串行通信 | 第24-28页 |
| ·光强调节执行部分 | 第28-33页 |
| ·单片机控制电路 | 第28-30页 |
| ·电机控制转速 | 第30-31页 |
| ·单片机控制程序设计 | 第31-33页 |
| 第四章 干涉仪单点式抗振控制系统 | 第33-64页 |
| ·抗振干涉技术的发展状况 | 第33-41页 |
| ·被动抗振方式 | 第33-34页 |
| ·自适应抗振方式 | 第34-38页 |
| ·四光电管空间移相法 | 第38-41页 |
| ·单点式抗振方案 | 第41-47页 |
| ·干涉条纹相位的实时测量 | 第42页 |
| ·振动对干涉仪的影响 | 第42-43页 |
| ·移相的实现方法 | 第43-44页 |
| ·四幅干涉图的角度值选取 | 第43页 |
| ·四幅干涉图的锁定方法 | 第43-44页 |
| ·光强波动问题的解决 | 第44-46页 |
| ·PZT 的补偿算法 | 第46-47页 |
| ·实验电路的设计制作及DSP 软件的编制 | 第47-64页 |
| ·硬件设计 | 第47-58页 |
| ·DSP 程序的编制 | 第58-64页 |
| ·开发过程 | 第58页 |
| ·主程序的结构 | 第58-62页 |
| ·EEPROM 的在线编程及BOOT 引导程序 | 第62-64页 |
| 第五章 实验和结果 | 第64-70页 |
| ·光强调节系统实验和结果 | 第64-68页 |
| ·单点法的移相实验 | 第68-69页 |
| ·单点法的抗振实验 | 第69-70页 |
| 第六章 结束语 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 发表论文 | 第76-77页 |
| 附录 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 详细摘要 | 第82-84页 |
