| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·薄膜技术的应用和发展 | 第7页 |
| ·薄膜特性综述 | 第7-8页 |
| ·薄膜特性检测的意义和现状 | 第8-10页 |
| ·薄膜生长率的检测 | 第8-9页 |
| ·薄膜应力的检测 | 第9页 |
| ·薄膜折射率的检测 | 第9-10页 |
| ·本文的研究工作 | 第10-11页 |
| 第二章 薄膜特性实时检测的理论和方法 | 第11-29页 |
| ·薄膜厚度的反射光干涉测量 | 第11-16页 |
| ·单层膜的多光束干涉及其简化模型 | 第11-14页 |
| ·多层膜的反射率模型 | 第14-16页 |
| ·薄膜生长率的求解算法 | 第16-19页 |
| ·单层膜生长率的IEEE-STD-1057标准算法 | 第16-18页 |
| ·多层膜生长率的非线性最小方差拟合 | 第18-19页 |
| ·薄膜厚度的极值法监控 | 第19-24页 |
| ·椭圆偏振法测量薄膜折射率 | 第24-26页 |
| ·薄膜应力的多光束偏转测量 | 第26-29页 |
| 第三章 薄膜多特性实时检测装置 | 第29-51页 |
| ·总体结构及其功能 | 第29-30页 |
| ·功率稳定可调的LD激光器 | 第30-34页 |
| ·激光二极管的封装及其参数 | 第30页 |
| ·LD自动功率控制系统 | 第30-34页 |
| ·LD自动温度稳定电路 | 第34-38页 |
| ·LD输出功率与温度的关系 | 第34-35页 |
| ·LD温度控制原理 | 第35-37页 |
| ·LD温度稳定电路设计 | 第37-38页 |
| ·探测器前置聚光镜设计 | 第38-42页 |
| ·光强检测电路 | 第42-44页 |
| ·电路特性与检测器件 | 第42页 |
| ·检测电路的噪声与估算 | 第42-44页 |
| ·膜厚检测的精度分析 | 第44-46页 |
| ·消光型椭圆偏振光仪 | 第46-49页 |
| ·方法依据和器件选择 | 第46-48页 |
| ·方案设计与使用方法 | 第48-49页 |
| ·薄膜生长的干涉模拟实验 | 第49-51页 |
| 第四章 总结与展望 | 第51-53页 |
| ·本文的工作总结 | 第51页 |
| ·对研究工作展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 研究生在读期间研究成果 | 第57页 |