电容式微加工超声传感器（cMUT）的结构设计与仿真
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·超声传感器 | 第7-9页 |
| ·超声波及超声传感器 | 第7-8页 |
| ·压电超声传感器 | 第8-9页 |
| ·微加工超声传感器(MUT) | 第9-14页 |
| ·电容式微加工超声传感器(cMUT) | 第9-10页 |
| ·压电式微加工超声传感器(pMUT) | 第10-13页 |
| ·cMUT 与pMUT的比较 | 第13-14页 |
| ·本课题的研究意义和主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 cMUT 的基本原理 | 第16-25页 |
| ·cMUT 的基本结构和工作原理 | 第16-17页 |
| ·cMUT 的等效电路 | 第17-21页 |
| ·cMUT 的激励方式 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 cMUT 的结构与工艺设计 | 第25-38页 |
| ·cMUT 的结构参数分析 | 第25-28页 |
| ·薄膜 | 第25-27页 |
| ·空腔 | 第27页 |
| ·底部绝缘层 | 第27-28页 |
| ·电极 | 第28页 |
| ·cMUT 加工工艺 | 第28-32页 |
| ·硅微机械加工技术 | 第29-31页 |
| ·其它集成电路工艺 | 第31-32页 |
| ·总结 | 第32页 |
| ·两类cMUT 的典型结构和工艺流程 | 第32-35页 |
| ·第一类结构 | 第32-33页 |
| ·第二类结构 | 第33-35页 |
| ·本课题结构和工艺流程设计 | 第35-37页 |
| ·结构设计方案 | 第35-36页 |
| ·工艺流程 | 第36-37页 |
| ·方案分析 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 cMUT 的建模与仿真分析 | 第38-53页 |
| ·有限元分析方法和ANSYS 软件 | 第38-40页 |
| ·有限元分析方法 | 第38-39页 |
| ·ANSYS 有限元分析软件 | 第39-40页 |
| ·模态分析 | 第40-43页 |
| ·建模 | 第40-41页 |
| ·仿真结果和分析 | 第41-43页 |
| ·力电耦合建模 | 第43-46页 |
| ·耦合场分析 | 第43-44页 |
| ·单元选取与建模 | 第44-46页 |
| ·力电耦合静态分析 | 第46-47页 |
| ·力电耦合模态分析 | 第47-50页 |
| ·力电耦合谐波分析 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 cMUT 测试系统总体设计 | 第53-58页 |
| ·系统总体设计 | 第53-54页 |
| ·驱动部分 | 第54-56页 |
| ·回波接收部分 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 全文总结和工作展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及参加的科研项目 | 第65-66页 |
| 附录：力电耦合分析命令流 | 第66-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
