| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-26页 |
| 1．1 稀土超磁致伸缩材料的特性及应用机理 | 第7-11页 |
| 1．1．1 超磁致伸缩材料效应 | 第7-8页 |
| 1．1．1．1 温度效应 | 第7页 |
| 1．1．1．2 磁致伸缩效应 | 第7-8页 |
| 1．1．1．3 其它物理效应 | 第8页 |
| 1．1．2 稀土超磁致伸缩材料主要特点 | 第8-9页 |
| 1．1．3 超磁致伸缩材料应用机理 | 第9-11页 |
| 1．2 稀土超磁致伸缩材料的制备方法 | 第11-13页 |
| 1．3 稀土超磁致伸缩材料的工作特性 | 第13-20页 |
| 1．4 稀土超磁致伸缩材料研究概况 | 第20-22页 |
| 1．4．1 稀土超磁致伸缩材料理论研究现状 | 第20-21页 |
| 1．4．2 稀土超磁致伸缩材料应用研究概况 | 第21-22页 |
| 1．4．2．1 国外稀土超磁致伸缩材料的应用研究进展 | 第21-22页 |
| 1．4．2．2 国内稀土巨磁致伸缩材料的应用研究进展 | 第22页 |
| 1．5 微位移工作台的研究现状 | 第22-23页 |
| 1．6 选题意义及研究内容 | 第23-25页 |
| 1．6．1 选题意义 | 第23-24页 |
| 1．6．2 本课题研究内容 | 第24-25页 |
| 1．7 本章小结 | 第25-26页 |
| 第2章 微动工作台的驱动器结构设计 | 第26-33页 |
| 2．1 超磁致伸缩材料的工作特性曲线 | 第26-27页 |
| 2．2 微动工作台的驱动器结构设计 | 第27-32页 |
| 2．2．1 驱动线圈的设计 | 第28-30页 |
| 2．2．2 隔热层的设计 | 第30-31页 |
| 2．2．3 推动杆的设计 | 第31页 |
| 2．2．4 驱动器的驱动方式 | 第31-32页 |
| 2．3 驱动器基本结构与工作原理 | 第32页 |
| 2．3．1 驱动器基本结构 | 第32页 |
| 2．3．2 工作原理 | 第32页 |
| 2．4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 微动工作台的定位机构设计 | 第33-37页 |
| 3．1 定位机构的磁路与机械结构 | 第33-35页 |
| 3．1．1 磁路与机械结构 | 第34页 |
| 3．1．2 定位原理 | 第34-35页 |
| 3．2 各部分结构设计 | 第35-36页 |
| 3．2．1 永磁体装置 | 第35页 |
| 3．2．2 定位线圈设计 | 第35-36页 |
| 3．2．3 定位线圈内置铁芯设计 | 第36页 |
| 3．3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 工作台控制系统设计 | 第37-44页 |
| 4．1 工作台的工作原理 | 第37-39页 |
| 4．1．1 工作原理简介 | 第37页 |
| 4．1．2 工作台单步距工作过程 | 第37-38页 |
| 4．1．3 工作台运行过程说明 | 第38-39页 |
| 4．2 控制系统的硬件电路设计 | 第39-41页 |
| 4．2．1 硬件电路的组成 | 第39-40页 |
| 4．2．2 硬件电路的设计 | 第40-41页 |
| 4．2．2．1 硬件电路整体设计 | 第40页 |
| 4．2．2．2 电路图 | 第40页 |
| 4．2．2．3 人机接口 | 第40-41页 |
| 4．3 单片机控制系统 | 第41-43页 |
| 4．3．1 控制系统简介 | 第41-43页 |
| 4．3．2 控制器驱动方式 | 第43页 |
| 4．4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 微动工作台的调试与结果分析 | 第44-50页 |
| 5．1 微动工作台的性能测试 | 第44页 |
| 5．2 各种因素对工作台的影响 | 第44-48页 |
| 5．2．1 温度对工作台的影响 | 第44-46页 |
| 5．2．2 Tb-Dy-Fe的磁滞特性 | 第46-48页 |
| 5．2．3 导轨面的刚度对工作台的影响 | 第48页 |
| 5．3 微动工作台的位移测量 | 第48-49页 |
| 5．4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第6章 结论与展望 | 第50-52页 |
| 6．1 结论 | 第50-51页 |
| 6．2 展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 附录1 | 第56-57页 |
| 附录2 | 第57-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |