射频/微波MEMS接触式开关的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 MEMS系统概述 | 第8-26页 |
| ·MEMS概述 | 第8-10页 |
| ·MEMS简介 | 第8-9页 |
| ·MEMS系统的材料、制造技术 | 第9-10页 |
| ·射频／微波MEMS通信系统 | 第10-14页 |
| ·MEMS开关的概述 | 第14-25页 |
| ·MEMS开关的优缺点 | 第14-15页 |
| ·MEMS开关的类型 | 第15-17页 |
| ·新型的MEMS开关结构 | 第17-20页 |
| ·MEMS开关的应用 | 第20-22页 |
| ·本论文研究内容简介 | 第22-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第二章 MEMS接触式开关的设计 | 第26-44页 |
| ·MEMS接触式开关的基本结构及原理 | 第26页 |
| ·MEMS接触式开关的力学模型 | 第26-31页 |
| ·MEMS接触式开关的电磁模型 | 第31-33页 |
| ·MEMS接触式开关的参数设计 | 第33-43页 |
| ·MEMS开关下拉电压 | 第33-34页 |
| ·MEMS开关损耗 | 第34-35页 |
| ·MEMS开关的隔离度 | 第35-36页 |
| ·开关参数的ANSYS和HFSS的模拟 | 第36-42页 |
| ·版图设计 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第三章 MEMS接触式开关的工艺制备 | 第44-59页 |
| ·MEMS接触式开关的工艺制备 | 第44-52页 |
| ·铝硅合金梁接触式开关工艺制备 | 第44-45页 |
| ·金属梁的空气桥接触式开关工艺流程图 | 第45-48页 |
| ·复合梁的接触式开关的工艺制备 | 第48-49页 |
| ·采用复合梁的接触式开关工艺流程图 | 第49-52页 |
| ·接触式开关重要工艺研究 | 第52-58页 |
| ·金属材料的空气桥接触式开关关键工艺研究 | 第52-54页 |
| ·复合梁的接触式开关关键工艺研究 | 第54-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第四章 MEMS接触式开关的测试与封装 | 第59-70页 |
| ·测试系统 | 第59-60页 |
| ·实验得到的器件及其特点 | 第60-67页 |
| ·传输线的测试 | 第60-62页 |
| ·空气桥的测试 | 第62-63页 |
| ·MEMS接触式开关的测试 | 第63-67页 |
| ·本文的两种MEMS接触式开关测试结果比较 | 第67页 |
| ·微机械接触式开关的封装 | 第67-69页 |
| ·划片、键合 | 第68页 |
| ·实验样品封装 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 第五章 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 文章发表情况 | 第77-78页 |
| 个人简历 | 第78页 |
| 致谢 | 第78页 |
