硅基微波共平面波导传输特性及其在微波移相器中的应用研究
| 第一章 绪论 | 第1-23页 |
| 1 硅材料在微波领域的应用 | 第10-11页 |
| 2 微电子机械技术 | 第11-14页 |
| ·MEMS的基础理论 | 第11-13页 |
| ·MEMS的材料与加工技术 | 第13-14页 |
| 3 射频／微波MEMS技术 | 第14-18页 |
| ·射频／微波MEMS器件参数 | 第14-15页 |
| ·射频／微波MEMS元件 | 第15-17页 |
| ·典型组件与系统 | 第17页 |
| ·元件设计及制造方法 | 第17-18页 |
| 4 本文构成 | 第18-19页 |
| 5 小结 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-23页 |
| 第二章 微波传输线理论基础 | 第23-38页 |
| 1 传输线的基本概念 | 第23-28页 |
| ·传输线种类及应用 | 第23-24页 |
| ·分布参数概念 | 第24-25页 |
| ·特性阻抗和传输常数 | 第25-26页 |
| ·传输线的阻抗匹配 | 第26-28页 |
| 2 共平面波导的结构和传输参数 | 第28-32页 |
| ·共平面波导结构 | 第28-29页 |
| ·共平面波导的特性阻抗和相速 | 第29-31页 |
| ·共平面波导的损耗 | 第31-32页 |
| 3 共平面波导的传统制作 | 第32-33页 |
| 4 微波网络基础 | 第33-36页 |
| 5 小结 | 第36-37页 |
| 参考文献: | 第37-38页 |
| 第三章 硅基MEMS微波传输线 | 第38-46页 |
| 1 硅基矩形波导 | 第38-39页 |
| 2 V型槽MEMS共平面波导 | 第39-41页 |
| 3 W型槽MEMS共平面波导 | 第41-42页 |
| 4 IOCPW | 第42-43页 |
| 5 小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 第四章 微波V型槽MEMS共平面波导 | 第46-72页 |
| 1 引言 | 第46页 |
| 2 特性阻抗的混合相似剖分有限元法分析 | 第46-56页 |
| ·有限元法简介 | 第46-48页 |
| ·相似剖分有限元法 | 第48页 |
| ·混合相似剖分有限元方法 | 第48-52页 |
| ·计算实例比较 | 第52-53页 |
| ·数值分析结果 | 第53-56页 |
| 3 工艺流程与参数优化 | 第56-58页 |
| ·工艺流程 | 第56页 |
| ·混合腐蚀工艺 | 第56-58页 |
| ·背面刻蚀技术 | 第58页 |
| 4 制备过程中的应力释放 | 第58-63页 |
| ·应力的基本概念 | 第58-59页 |
| ·微结构中应力的产生与测量 | 第59-61页 |
| ·微机械共平面波导中应力 | 第61-63页 |
| 5 散射参数的多线分析法 | 第63-65页 |
| ·多线分析基本原理 | 第63-64页 |
| ·测量结果分析 | 第64-65页 |
| 6 测试结果与分析 | 第65-67页 |
| 7 小结 | 第67-69页 |
| 参考文献: | 第69-72页 |
| 第五章 硅基微波共平面波导 | 第72-91页 |
| 1 引言 | 第72-73页 |
| 2 高阻硅基共平面波导 | 第73-82页 |
| ·高阻硅基共平面波导结构 | 第73-74页 |
| ·制备工艺流程 | 第74-75页 |
| ·氧化层电荷对传输损耗的影响 | 第75-77页 |
| ·测试结果与分析 | 第77-82页 |
| 3 低阻硅基聚酰亚胺厚膜上的共平面波导 | 第82-89页 |
| ·共平面波导的设计考虑 | 第82-84页 |
| ·共平面波导制备 | 第84-85页 |
| ·参数测试与比较 | 第85-89页 |
| 4 小结 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-91页 |
| 第六章 高阻硅基级联式MEMS移相器 | 第91-117页 |
| 1 相移原理概述 | 第91-94页 |
| ·传统相移的实现 | 第91-92页 |
| ·集成二极管数字式移相器 | 第92-93页 |
| ·移相器在相控阵中的应用 | 第93-94页 |
| 2 MEMS移相器 | 第94-97页 |
| ·MEMS移相器设计 | 第94-96页 |
| ·单元移相结构的工作原理 | 第96-97页 |
| 3 结构参数设计 | 第97-106页 |
| ·可调电容 | 第97-99页 |
| ·下拉电压 | 第99-101页 |
| ·Bragg频率分析 | 第101-106页 |
| 4 制备工艺探讨 | 第106-108页 |
| ·工艺流程 | 第106-107页 |
| ·工艺探讨 | 第107-108页 |
| 5 参数测试与分析 | 第108-114页 |
| ·实验获得样品 | 第108-111页 |
| ·测试结果与分析 | 第111-113页 |
| ·MEMS结构寿命实验 | 第113-114页 |
| 6 小结 | 第114-115页 |
| 参考文献: | 第115-117页 |
| 结论 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 读博期间发表文章 | 第120页 |
