第一章 绪论 | 第1-21页 |
§1-1 引言 | 第9-10页 |
§1-2 RIS的基本原理和特点 | 第10-11页 |
§1-3 方案的选择 | 第11-18页 |
§1-4 SIRI-TOFMS与SIMS的比较 | 第18-19页 |
§1-5 SIRI-TOFMS的特点 | 第19页 |
§1-6 国内外现状 | 第19-21页 |
第二章 SIRI-TOFMS的物理方案 | 第21-53页 |
§2-1 基本原理 | 第21-22页 |
§2-2 基本物理过程 | 第22-43页 |
§2-2-1 溅射过程 | 第22-34页 |
§2-2-2 RIS过程 | 第34-40页 |
§2-2-3 RIS离子的质量选择过程 | 第40-43页 |
§2-3 探测的统计灵敏度估计 | 第43-51页 |
§2-4 本底来源及其抑制办法 | 第51-53页 |
第三章 SIRI-TOFMS装置中各主要部分的结构与性能 | 第53-74页 |
§3-1 离子源及其聚焦系统 | 第55-60页 |
§3-2 激光系统 | 第60-62页 |
§3-3 靶室和换样室 | 第62-63页 |
§3-4 飞行时间质谱仪 | 第63-66页 |
§3-5 真空系统 | 第66页 |
§3-6 电子学系统 | 第66-74页 |
第四章 SIRI-TOFMS装置的联机调试 | 第74-95页 |
§4-1 靶、电极和第一聚焦透镜的同轴调整 | 第74-75页 |
§4-2 A_r~+束在靶上的位置和流强大小的测量 | 第75-76页 |
§4-3 激光束在靶室中位置的确定 | 第76-77页 |
§4-4 A_r~+脉冲、激光脉冲和RIS离子引出脉冲之间的时间关系 | 第77-79页 |
§4-5 中途时间门的调试和SIMS离子的抑制 | 第79-82页 |
§4-6 SIRI-TOFMS装置的性能调试结果 | 第82-94页 |
§4-7 本底分析 | 第94-95页 |
第五章 进一步改进意见 | 第95-96页 |
第六章 结束语 | 第96-97页 |
附录A 速率方程的求解过程 | 第97-100页 |
附录B 飞行时间差△T_M的公式推导 | 第100-102页 |
附录C 时间同步系统的电路框图 | 第102-103页 |
附录D 激光外触发电路图 | 第103-104页 |
附录E 0~-1600V高压快脉冲电路图 | 第104-105页 |
附录F 级冲器电路图 | 第105-106页 |
附录G 数字延迟器原理图 | 第106-107页 |
参考文献 | 第107-113页 |