柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·太阳能光伏产业 | 第7-8页 |
| ·太阳电池的分类及研究现状 | 第8-11页 |
| ·柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池的研究意义 | 第11-13页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 电池的基本原理，器件结构及工艺方案 | 第14-25页 |
| ·半导体的光伏发电效应 | 第14-15页 |
| ·太阳电池的光伏特性 | 第15-17页 |
| ·非晶硅的性质 | 第17-21页 |
| ·柔性非晶硅薄膜太阳电池器件结构的设计 | 第21-23页 |
| ·本研究的工艺研究路线 | 第23-25页 |
| 3 柔性衬底的选择及预处理 | 第25-33页 |
| ·柔性衬底的选择 | 第25-27页 |
| ·柔性衬底的预处理 | 第27-33页 |
| 4 电极制备工艺 | 第33-42页 |
| ·铝电极制备工艺 | 第33-37页 |
| ·ITO 透明导电薄膜顶电极的制备 | 第37-42页 |
| 5 NIP 非晶硅薄膜的制备工艺及电池样品性能 | 第42-53页 |
| ·等离子体化学气相沉积非晶硅薄膜的基本原理 | 第42-46页 |
| ·高质量本征层的制备 | 第46-49页 |
| ·P 层窗口层的制备 | 第49-50页 |
| ·N 层的制备 | 第50-51页 |
| ·柔性太阳电池样品的制备及其性能 | 第51-53页 |
| 6 结论及展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 附录一 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第61-62页 |
| 附录二 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第62页 |
