| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·微系统工程概述 | 第8-9页 |
| ·数字全息术 | 第9-12页 |
| ·数字全息术的基本理论及应用 | 第9-11页 |
| ·数字全息术的国内外发展动态 | 第11-12页 |
| ·三维面形检测 | 第12-16页 |
| ·三维面形检测的基本理论及应用 | 第12-13页 |
| ·几种常见的光学三维面形测量技术 | 第13-16页 |
| ·本论文主要的研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 数字全息的基本原理及干扰项的消除 | 第18-42页 |
| ·光波的标量衍射理论 | 第18-21页 |
| ·数字全息的记录与再现 | 第21-27页 |
| ·传统光学全息的波前记录和再现 | 第21-22页 |
| ·数字全息的波前记录和再现 | 第22-24页 |
| ·数字全息的再现算法 | 第24-27页 |
| ·数字全息中零级光和共轭项的消除 | 第27-34页 |
| ·数字全息中零级光的消除 | 第27-28页 |
| ·频域滤波法消除零级光和共轭光 | 第28-30页 |
| ·相移法消除零级光和共轭光 | 第30-31页 |
| ·消零级衍射光频域滤波法 | 第31-34页 |
| ·数字全息物光场在像空间及物空间的重建研究 | 第34-41页 |
| ·两种波面重建方法简述 | 第34-36页 |
| ·像空间波面重建 | 第36页 |
| ·物空间波面重建 | 第36-37页 |
| ·波面重建实验研究 | 第37-40页 |
| ·实验系统简介 | 第37页 |
| ·像空间波面重建实验 | 第37-39页 |
| ·物空间波面重建实验 | 第39-40页 |
| ·两种方法重建物光场的相位比较 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 数字全息三维轮廓生成 | 第42-52页 |
| ·前言 | 第42页 |
| ·数字全息法三维形貌测量的依据 | 第42-45页 |
| ·数字全息三维面形检测公式的统计光学讨论 | 第45-49页 |
| ·数字全息三维面形检测公式 | 第45-48页 |
| ·数字全息三维面形检测的实现 | 第48-49页 |
| ·照明物光角度变化的检测原理 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 数字全息三维面形检测中照明物光转角的简易测试 | 第52-58页 |
| ·前言 | 第52页 |
| ·照明物光倾角及转角的测量误差对比 | 第52-53页 |
| ·实验证明 | 第53-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文情况 | 第66页 |