高速波导声光调制器的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·集成光学的发展 | 第8-9页 |
| ·光调制器和光开关的发展 | 第9-10页 |
| ·声光器件及声表面波的发展与应用 | 第10-11页 |
| ·国内外波导声光调制器的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本论文主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 波导声光调制器基本原理 | 第14-26页 |
| ·声表面波 | 第14-17页 |
| ·声表面波技术的发展史 | 第14-15页 |
| ·弹性波 | 第15页 |
| ·瑞利波 | 第15-17页 |
| ·光波导中的导波 | 第17-21页 |
| ·表面波声光效应 | 第21-22页 |
| ·机电耦合系数 | 第22-23页 |
| ·波导声光调制原理 | 第23-26页 |
| 第三章 声表面波求解方法 | 第26-32页 |
| ·压电介质中的声表面波 | 第26-29页 |
| ·压电介质中的耦合波方程 | 第26-28页 |
| ·介质表面的边界条件 | 第28-29页 |
| ·薄膜介质中的声表面波 | 第29-30页 |
| ·解耦的声表面波的求解方法 | 第30-32页 |
| 第四章 高速波导声光调制器的设计 | 第32-45页 |
| ·新型波导声光调制器的整体设计 | 第32-33页 |
| ·波导声光调制器的声波导设计参数 | 第33-39页 |
| ·不同切型压电晶体中的坐标变换 | 第33-38页 |
| ·理论分析中使用的参数 | 第38-39页 |
| ·声波导的分析与设计 | 第39-45页 |
| 第五章 光波导分析 | 第45-63页 |
| ·常用的光波导模式的分析方法 | 第45-47页 |
| ·OptiBPM 软件简介 | 第47-48页 |
| ·利用OptiBPM 软件设计和分析光波导 | 第48-63页 |
| ·光波导结构和折射率设计 | 第48-50页 |
| ·光波导中光场随传输的变化 | 第50-51页 |
| ·光波导中光场及有效折射率分布 | 第51-55页 |
| ·影响光波导性能的因素分析 | 第55-61页 |
| ·光波导的优化设计 | 第61-63页 |
| 第六章 波导声光调制器的制作、实验结果与分析 | 第63-71页 |
| ·波导声光器件的制作方法 | 第63-66页 |
| ·光波导制作技术概述 | 第63-65页 |
| ·退火质子交换法制作波导 | 第65-66页 |
| ·Ti 扩散LiNbO_3 光波导的制作方法 | 第66页 |
| ·光波导的制作过程 | 第66-67页 |
| ·光刻 | 第66页 |
| ·镀Ti 膜 | 第66页 |
| ·剥离 | 第66页 |
| ·Ti 扩散工艺 | 第66-67页 |
| ·叉指换能器与声波导的制作方法 | 第67-68页 |
| ·波导声光调制器的测试与分析 | 第68-71页 |
| ·光波导的测试装置 | 第68-69页 |
| ·测试结果与分析 | 第69-70页 |
| ·改进的方法 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
