基于三维微触觉测头的纳米坐标测量系统
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·研究背景 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-14页 |
| ·微纳米坐标测量技术发展现状 | 第8-9页 |
| ·三维微触觉测头的发展现状 | 第9-14页 |
| ·本课题研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 系统设计原理与数据处理方法 | 第15-29页 |
| ·阿贝误差对测量的影响 | 第15-16页 |
| ·测头系统控制原理 | 第16-19页 |
| ·模拟测头的点位测量方式 | 第17-19页 |
| ·模拟测头的扫描测量方式 | 第19页 |
| ·坐标测量原理 | 第19-29页 |
| ·坐标变换 | 第20-21页 |
| ·基本几何要素的数据处理 | 第21-29页 |
| 第三章 测量系统硬件设计 | 第29-44页 |
| ·测头系统 | 第29-36页 |
| ·三坐标测头的分类 | 第29-30页 |
| ·测头的选择 | 第30-31页 |
| ·Gannen XM/XP测头 | 第31-36页 |
| ·进给定位系统 | 第36-39页 |
| ·纳米定位测量机 | 第36-38页 |
| ·测头的安装 | 第38-39页 |
| ·数据采集与反馈控制系统 | 第39-42页 |
| ·数据采集器的选择 | 第39-40页 |
| ·基于采集器的反馈控制系统 | 第40-42页 |
| ·测量系统其他部分 | 第42-44页 |
| ·照明观测装置 | 第42页 |
| ·温度控制装置 | 第42-44页 |
| 第四章 测量系统软件设计 | 第44-49页 |
| ·测头标定程序 | 第44-47页 |
| ·数据采集和存储 | 第44-46页 |
| ·数据处理和计算 | 第46-47页 |
| ·反馈控制程序 | 第47页 |
| ·点位测量程序 | 第47-49页 |
| 第五章 实验设计及结果分析 | 第49-71页 |
| ·系统测试实验 | 第49-58页 |
| ·测头线性度测试 | 第49-53页 |
| ·测头噪声测试 | 第53-56页 |
| ·测头回程误差测试 | 第56-57页 |
| ·NMM噪声测试 | 第57-58页 |
| ·测头标定实验 | 第58-62页 |
| ·测头的标定 | 第58-61页 |
| ·标定矩阵的检验 | 第61-62页 |
| ·反馈控制量的选择 | 第62-64页 |
| ·台阶点位测量实验 | 第64-65页 |
| ·圆的点位测量实验 | 第65-67页 |
| ·复杂曲面点位测量实验 | 第67-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
