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胶体刻蚀工艺制备纳米图案及图案功能的初步研究

摘要第1-7页
Abstract第7-11页
第1章 绪论第11-28页
   ·引言第11-12页
   ·纳米材料概述第12-14页
     ·纳米材料的特性第12-13页
     ·纳米材料的现状及发展趋势第13-14页
   ·微纳米技术概述第14-16页
     ·微纳米技术的概念及应用第14-15页
     ·微纳米技术的种类第15-16页
   ·胶体刻蚀概述第16-23页
     ·胶体刻蚀的概念第16-17页
     ·纳米颗粒的自组装工艺第17-19页
     ·胶体刻蚀的发展及应用第19-23页
   ·溅射工艺概述第23-26页
     ·常规直流脉冲磁控溅射(DCMS)概述第23-24页
     ·高能脉冲磁控溅射(HiPPMS)概述第24-26页
   ·本课题的研究意义第26页
   ·研究内容第26-27页
   ·技术路线第27-28页
第2章 胶体掩膜的自组装工艺第28-35页
   ·胶体掩膜的自组装第28-30页
     ·方法选择第28页
     ·滴涂法组装实验步骤第28-29页
     ·漂浮法组装实验步骤第29-30页
   ·自组装胶体晶体的表征第30-31页
     ·扫描电子显微镜第30-31页
   ·结果与讨论第31-35页
     ·滴涂法工艺质量第31-32页
     ·漂浮法工艺质量第32-34页
     ·本章小结第34-35页
第3章 胶体掩膜的沉积工艺第35-49页
   ·直流磁控溅射工艺溅射沉积胶体掩膜第35-38页
     ·直流磁控溅射沉积工艺实验步骤第35-36页
     ·直流磁控溅射沉积的结果表征与分析第36-38页
   ·高能脉冲磁控溅射(HiPPMS)工艺溅射沉积胶体掩膜第38-45页
     ·高能脉冲磁控溅射沉积的实验步骤第38-40页
     ·高能脉冲磁控溅射的结果表征与分析第40-45页
   ·利用磁控溅射进行胶体掩膜沉积获得纳米图案的能力与基本策略第45-49页
第4章 TiO_2表面沉积Cu纳米图形的功能学表征第49-60页
   ·表征方法第49-51页
     ·接触角实验第49页
     ·光催化实验第49-50页
     ·血小板粘附实验第50-51页
     ·平滑肌培养实验第51页
   ·实验步骤第51-54页
     ·水接触角实验第51-52页
     ·光催化实验第52页
     ·血小板粘附实验第52-53页
     ·平滑肌培养实验第53-54页
   ·结果与讨论第54-59页
     ·水接触角结果第54-55页
     ·光催化实验结果第55-56页
     ·血小板粘附实验结果第56-58页
     ·平滑肌培养实验结果第58-59页
   ·本章小结第59-60页
结论及展望第60-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-67页
攻读硕士学位期间发表论文第67页
参与科研项目第67页

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