| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 引言 | 第10-22页 |
| 1.1 电致变色薄膜概述 | 第10-11页 |
| 1.2 WO_3薄膜研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 WO_3薄膜变色机制 | 第11-12页 |
| 1.2.2 非晶WO_3薄膜制备研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.3 WO_3微细加工制备现状 | 第15-16页 |
| 1.3 透明电极（TCO）概述 | 第16-17页 |
| 1.4 喷雾热解制备ITO电极研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4.1 ITO薄膜制备技术简介 | 第17-18页 |
| 1.4.2 ITO薄膜半导理论简介 | 第18页 |
| 1.4.3 喷雾热解制备ITO电极研究现状 | 第18-19页 |
| 1.5 论文研究目的及意义 | 第19-22页 |
| 2.实验方法及设备 | 第22-30页 |
| 2.1 TCO玻璃制备 | 第22-23页 |
| 2.1.1 TCO溶胶制备 | 第22页 |
| 2.1.2 TCO薄膜制备设备 | 第22-23页 |
| 2.2 预实验 | 第23-27页 |
| 2.2.1 预实验内容 | 第23页 |
| 2.2.2 预实验结果与分析 | 第23-27页 |
| 2.2.3 预实验小结 | 第27页 |
| 2.3 非晶WO_3薄膜制备设备 | 第27页 |
| 2.4 电致变色玻璃器件制作设备 | 第27-28页 |
| 2.5 非晶WO_3薄膜图形制作设备 | 第28页 |
| 2.6 实验表征设备 | 第28-29页 |
| 2.7 实验药品 | 第29-30页 |
| 3.以In(NO_3)_3为出发原料的ITO薄膜制备研究 | 第30-40页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 实验方法 | 第30-31页 |
| 3.2.1 ITO溶胶的配制 | 第30页 |
| 3.2.2 ITO薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 3.3 ITO溶胶成分分析 | 第31-32页 |
| 3.4 AcAcH对ITO薄膜制备影响研究 | 第32-38页 |
| 3.4.1 沉积速率影分析 | 第32-33页 |
| 3.4.2 薄膜晶体结构分析 | 第33-34页 |
| 3.4.3 表面形貌分析 | 第34-36页 |
| 3.4.4 光电性能分析 | 第36-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 4.以InCl_3为出发原料的ITO薄膜制备研究 | 第40-48页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 实验方法 | 第40-41页 |
| 4.2.1 ITO溶胶配制 | 第40-41页 |
| 4.2.2 ITO薄膜制备 | 第41页 |
| 4.3 ITO溶胶成分分析 | 第41-42页 |
| 4.4 溶胶中H_2O含量对ITO薄膜生长的影响 | 第42-46页 |
| 4.4.1 薄膜晶体结构研究 | 第42-43页 |
| 4.4.2 表面形貌研究 | 第43-45页 |
| 4.4.3 光电性能研究 | 第45-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 5.非晶WO_3薄膜制备研究 | 第48-58页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 实验方法 | 第48-49页 |
| 5.2.1 WO_3溶胶配制 | 第48页 |
| 5.2.2 WO_3薄膜制备 | 第48-49页 |
| 5.3 非晶WO_3薄膜制备研究 | 第49-57页 |
| 5.3.1 溶胶化学成分分析 | 第49页 |
| 5.3.2 湿度对薄膜质量的影响 | 第49-50页 |
| 5.3.3 WO_3薄膜形成机理研究 | 第50-54页 |
| 5.3.4 薄膜电致变色性能分析 | 第54-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 纳米In_2O_3掺杂非晶WO_3薄膜制备研究 | 第58-68页 |
| 6.1 引言 | 第58页 |
| 6.2 实验方法 | 第58-59页 |
| 6.2.1 In_2O_3掺杂WO_3溶胶配制 | 第58页 |
| 6.2.2 In_2O_3掺杂WO_3薄膜制备 | 第58-59页 |
| 6.3 纳米In_2O_3掺杂WO_3薄膜制备研究 | 第59-66页 |
| 6.3.1 溶胶凝胶工艺中In_2O_3结晶温度研究 | 第59页 |
| 6.3.2 In_2O_3掺杂WO_3薄膜成分研究 | 第59-62页 |
| 6.3.3 掺杂比例对薄膜电致变色性能影响 | 第62-65页 |
| 6.3.4 可见-近红外宽频调制性能测试 | 第65-66页 |
| 6.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 7.WO_3电致变色玻璃器件制备 | 第68-76页 |
| 7.1 引言 | 第68页 |
| 7.2 电致变色玻璃器件的组装 | 第68-71页 |
| 7.2.1 模型选择 | 第68页 |
| 7.2.2 材料准备 | 第68页 |
| 7.2.3 制作流程 | 第68-69页 |
| 7.2.4 封装 | 第69-71页 |
| 7.3 电致变色玻璃器件性能测试 | 第71-74页 |
| 7.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 8.感光溶胶凝胶法制备In_2O_3掺杂WO_3薄膜微细图形 | 第76-82页 |
| 8.1 引言 | 第76页 |
| 8.2 WO_3感光溶胶的制备 | 第76-77页 |
| 8.3 溶胶成分及感光性分析 | 第77-78页 |
| 8.4 微细图形加工 | 第78页 |
| 8.5 微细图形加工结果分析 | 第78-80页 |
| 8.6 本章小结 | 第80-82页 |
| 9.结论 | 第82页 |
| 本文的创新点 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 作者在攻读学位期间发表的论文 | 第91页 |
| 已公开的专利 | 第91页 |
