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CZ全自动单晶炉电控系统设计

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第10-20页
    1.1 选题背景第10-11页
    1.2 文献综述第11-17页
        1.2.1 单晶硅基本知识第11-12页
        1.2.2 单晶硅制备生长工艺第12-13页
        1.2.3 单晶硅生长关键点第13-15页
        1.2.4 直拉式单晶硅工艺流程介绍第15-17页
    1.3 研究进展与发展趋势第17-18页
        1.3.1 国内外单晶炉研究进展第17页
        1.3.2 发展趋势和特点第17-18页
    1.4 课题的来源及其主要研究内容第18-19页
    1.5 课题研究目的和意义第19-20页
第2章 直拉式单晶炉机械结构系统第20-24页
    2.1 主炉室第20-21页
    2.2 隔离旋阀第21页
    2.3 副炉室第21页
    2.4 坩埚驱动装置第21-22页
    2.5 籽晶驱动装置第22页
    2.6 炉体旋转升降装置第22页
    2.7 真空及气路系统第22-23页
    2.8 水冷系统第23页
    2.9 加热系统第23页
    2.10 本章小结第23-24页
第3章 电气控制平台设计第24-32页
    3.1 单晶炉技术要求及优化需求第24-25页
    3.2 主控系统第25页
    3.3 驱动系统第25-27页
        3.3.1 晶体与坩埚升降第26页
        3.3.2 晶体和坩埚旋转第26-27页
    3.4 加热系统第27-28页
        3.4.1 加热电源第27-28页
        3.4.2 温度检测第28页
    3.5 气路系统第28-29页
    3.6 水路系统第29页
    3.7 CCD图像系统第29-30页
    3.8 本章小结第30-32页
第4章 电气系统软件设计第32-56页
    4.1 设计需求和目标第32页
    4.2 PLC集中控制软件第32-44页
        4.2.1 功能性控制设计第32-35页
        4.2.2 工艺过程实现设计第35-42页
        4.2.3 辅助功能设计第42-44页
    4.3 人机界面设计第44-53页
        4.3.1 工作界面设计第44-49页
        4.3.2 工艺参数界面设计第49-50页
        4.3.3 曲线界面设计第50-51页
        4.3.4 操作记录界面设计第51页
        4.3.5 报警记录界面设计第51-52页
        4.3.6 辅助功能界面设计第52-53页
    4.4 CCD软件设计第53-55页
        4.4.1 软件开发平台选择和搭建第53-54页
        4.4.2 CCD软件开发流程设计第54-55页
    4.5 本章小结第55-56页
第5章 总线及通信设计第56-78页
    5.1 设计需求和目标第56页
    5.2 现场总线网络架构设计第56-58页
    5.3 CAN总线第58-64页
        5.3.1 CANopen通讯协议第58-59页
        5.3.2 eds文件和对象字典第59-61页
        5.3.3 CANopen通信配置及程序编写步骤第61-64页
    5.4 RS485通信第64-70页
        5.4.1 ModbusRTU通信协议第65页
        5.4.2 ModbusRTU通信模式第65-66页
        5.4.3 485网络中的通信模块第66-67页
        5.4.4 与无纸记录仪的通讯实现第67-69页
        5.4.5 与电源柜的通讯实现第69-70页
    5.5 RS232通信第70-74页
        5.5.1 RS232接口第70-71页
        5.5.2 ModbusASCII码通信第71-72页
        5.5.3 通讯内容第72-73页
        5.5.4 PLC中通讯实现第73-74页
    5.6 以太网通信第74-76页
    5.7 本章小结第76-78页
第6章 单晶炉运行数据及分析第78-84页
    6.1 总体分析第78页
    6.2 单晶炉主要指标第78-79页
    6.3 工艺验证第79-84页
结论第84-86页
附录第86-94页
参考文献第94-98页
致谢第98页

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