CZ全自动单晶炉电控系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 选题背景 | 第10-11页 |
| 1.2 文献综述 | 第11-17页 |
| 1.2.1 单晶硅基本知识 | 第11-12页 |
| 1.2.2 单晶硅制备生长工艺 | 第12-13页 |
| 1.2.3 单晶硅生长关键点 | 第13-15页 |
| 1.2.4 直拉式单晶硅工艺流程介绍 | 第15-17页 |
| 1.3 研究进展与发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.3.1 国内外单晶炉研究进展 | 第17页 |
| 1.3.2 发展趋势和特点 | 第17-18页 |
| 1.4 课题的来源及其主要研究内容 | 第18-19页 |
| 1.5 课题研究目的和意义 | 第19-20页 |
| 第2章 直拉式单晶炉机械结构系统 | 第20-24页 |
| 2.1 主炉室 | 第20-21页 |
| 2.2 隔离旋阀 | 第21页 |
| 2.3 副炉室 | 第21页 |
| 2.4 坩埚驱动装置 | 第21-22页 |
| 2.5 籽晶驱动装置 | 第22页 |
| 2.6 炉体旋转升降装置 | 第22页 |
| 2.7 真空及气路系统 | 第22-23页 |
| 2.8 水冷系统 | 第23页 |
| 2.9 加热系统 | 第23页 |
| 2.10 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 电气控制平台设计 | 第24-32页 |
| 3.1 单晶炉技术要求及优化需求 | 第24-25页 |
| 3.2 主控系统 | 第25页 |
| 3.3 驱动系统 | 第25-27页 |
| 3.3.1 晶体与坩埚升降 | 第26页 |
| 3.3.2 晶体和坩埚旋转 | 第26-27页 |
| 3.4 加热系统 | 第27-28页 |
| 3.4.1 加热电源 | 第27-28页 |
| 3.4.2 温度检测 | 第28页 |
| 3.5 气路系统 | 第28-29页 |
| 3.6 水路系统 | 第29页 |
| 3.7 CCD图像系统 | 第29-30页 |
| 3.8 本章小结 | 第30-32页 |
| 第4章 电气系统软件设计 | 第32-56页 |
| 4.1 设计需求和目标 | 第32页 |
| 4.2 PLC集中控制软件 | 第32-44页 |
| 4.2.1 功能性控制设计 | 第32-35页 |
| 4.2.2 工艺过程实现设计 | 第35-42页 |
| 4.2.3 辅助功能设计 | 第42-44页 |
| 4.3 人机界面设计 | 第44-53页 |
| 4.3.1 工作界面设计 | 第44-49页 |
| 4.3.2 工艺参数界面设计 | 第49-50页 |
| 4.3.3 曲线界面设计 | 第50-51页 |
| 4.3.4 操作记录界面设计 | 第51页 |
| 4.3.5 报警记录界面设计 | 第51-52页 |
| 4.3.6 辅助功能界面设计 | 第52-53页 |
| 4.4 CCD软件设计 | 第53-55页 |
| 4.4.1 软件开发平台选择和搭建 | 第53-54页 |
| 4.4.2 CCD软件开发流程设计 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 总线及通信设计 | 第56-78页 |
| 5.1 设计需求和目标 | 第56页 |
| 5.2 现场总线网络架构设计 | 第56-58页 |
| 5.3 CAN总线 | 第58-64页 |
| 5.3.1 CANopen通讯协议 | 第58-59页 |
| 5.3.2 eds文件和对象字典 | 第59-61页 |
| 5.3.3 CANopen通信配置及程序编写步骤 | 第61-64页 |
| 5.4 RS485通信 | 第64-70页 |
| 5.4.1 ModbusRTU通信协议 | 第65页 |
| 5.4.2 ModbusRTU通信模式 | 第65-66页 |
| 5.4.3 485网络中的通信模块 | 第66-67页 |
| 5.4.4 与无纸记录仪的通讯实现 | 第67-69页 |
| 5.4.5 与电源柜的通讯实现 | 第69-70页 |
| 5.5 RS232通信 | 第70-74页 |
| 5.5.1 RS232接口 | 第70-71页 |
| 5.5.2 ModbusASCII码通信 | 第71-72页 |
| 5.5.3 通讯内容 | 第72-73页 |
| 5.5.4 PLC中通讯实现 | 第73-74页 |
| 5.6 以太网通信 | 第74-76页 |
| 5.7 本章小结 | 第76-78页 |
| 第6章 单晶炉运行数据及分析 | 第78-84页 |
| 6.1 总体分析 | 第78页 |
| 6.2 单晶炉主要指标 | 第78-79页 |
| 6.3 工艺验证 | 第79-84页 |
| 结论 | 第84-86页 |
| 附录 | 第86-94页 |
| 参考文献 | 第94-98页 |
| 致谢 | 第98页 |
