| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第11-35页 |
| 1.1 低温等离子体 | 第11-18页 |
| 1.2 CCP的研究 | 第18-32页 |
| 1.3 本文研究内容与安排 | 第32-35页 |
| 2 PIC/MCC数值模拟方法介绍 | 第35-54页 |
| 2.1 概述 | 第35-37页 |
| 2.2 PIC方法 | 第37-45页 |
| 2.3 MCC模型 | 第45-52页 |
| 2.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 3 磁场对直流/射频电源驱动的CCP性质的影响 | 第54-70页 |
| 3.1 引言 | 第54页 |
| 3.2 模拟参数介绍 | 第54-56页 |
| 3.3 磁场强度的影响 | 第56-67页 |
| 3.4 二次电子发射系数的影响 | 第67-68页 |
| 3.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 4 磁场对CCP中电非对称性效应的影响 | 第70-87页 |
| 4.1 引言 | 第70页 |
| 4.2 模拟参数介绍 | 第70-71页 |
| 4.3 磁场对电非对称性效应的影响 | 第71-81页 |
| 4.4 磁场与气压、射频电压和二次电子对等离子体的影响 | 第81-85页 |
| 4.5 本章小结 | 第85-87页 |
| 5 剪裁电压波形驱动的磁化CCP中的加热机制 | 第87-101页 |
| 5.1 引言 | 第87页 |
| 5.2 模拟参数介绍 | 第87-89页 |
| 5.3 磁场对等离子体性质的影响 | 第89-94页 |
| 5.4 电子加热机制和加热模式转换 | 第94-100页 |
| 5.5 本章小结 | 第100-101页 |
| 6 CCP中的磁不对称性效应 | 第101-122页 |
| 6.1 引言 | 第101页 |
| 6.2 模拟参数介绍 | 第101-102页 |
| 6.3 不均匀磁场引起的非对称性效应 | 第102-112页 |
| 6.4 放电参数对磁非对称效应的影响 | 第112-120页 |
| 6.5 本章小结 | 第120-122页 |
| 7 全文总结与工作展望 | 第122-124页 |
| 7.1 本文工作总结 | 第122-123页 |
| 7.2 下一步工作展望 | 第123-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-141页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的主要论文 | 第141-142页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的发明专利和其他成果 | 第142-143页 |
| 附录3 博士生期间参与的课题研究情况 | 第143页 |