反馈控制微细电化学加工技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.1.1 微细电化学加工技术 | 第11页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 国外发展现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 国内发展现状 | 第15-17页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 微细电解加工原理与工件电极制备 | 第19-33页 |
| 2.1 电解加工的成型原理 | 第19-21页 |
| 2.2 微细电解加工机理 | 第21-23页 |
| 2.2.1 电极电位的形成 | 第21页 |
| 2.2.2 等效电路模型 | 第21-23页 |
| 2.3 外电场作用下电极极化 | 第23-24页 |
| 2.4 电解加工间隙内电场特性 | 第24-26页 |
| 2.5 微细电解加工工具电极的制备 | 第26-32页 |
| 2.5.1 微细电极电化学刻蚀加工机理 | 第27-28页 |
| 2.5.2 电极加工出现的问题及解决方案 | 第28-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 反馈控制微细电化学加工特性分析 | 第33-47页 |
| 3.1 脉冲电解加工特性 | 第33-36页 |
| 3.2 反馈系统中集成电路元件 | 第36-40页 |
| 3.2.1 反馈比例放大电器 | 第36-39页 |
| 3.2.2 加法器 | 第39-40页 |
| 3.3 反馈控制微细电化学加工模型建立 | 第40-42页 |
| 3.4 参数对系统响应时间的影响 | 第42-45页 |
| 3.4.1 反馈系数对系统响应时间的影响 | 第42-43页 |
| 3.4.2 加工间隙对系统响应时间的影响 | 第43-45页 |
| 3.5 反馈前后电压波形变化 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 反馈控制微细电化学加工实验 | 第47-69页 |
| 4.1 微细电解加工系统 | 第47-49页 |
| 4.2 微孔加工参数分析 | 第49-58页 |
| 4.2.1 侧面加工间隙分析 | 第49-52页 |
| 4.2.2 脉冲电压对微孔加工的影响 | 第52-54页 |
| 4.2.3 频率对微孔加工的影响 | 第54-55页 |
| 4.2.4 占空比对微孔加工的影响 | 第55-56页 |
| 4.2.5 不同增益下微孔加工 | 第56-58页 |
| 4.3 反馈控制微细电化学微槽加工 | 第58-62页 |
| 4.3.1 频率对微槽加工的影响 | 第59页 |
| 4.3.2 峰值电压对微槽加工的影响 | 第59-60页 |
| 4.3.3 进给速度对微槽加工的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.4 反馈增益对微槽加工的影响 | 第61-62页 |
| 4.4 微梁加工实验 | 第62-66页 |
| 4.4.1 微梁加工程序 | 第62-63页 |
| 4.4.2 刀具进给量补偿对微梁加工的影响 | 第63-64页 |
| 4.4.3 进给速度对微梁加工的影响 | 第64-65页 |
| 4.4.4 U型悬臂梁最优加工参数 | 第65-66页 |
| 4.5 双微梁加工实验 | 第66-68页 |
| 4.5.1 刀具进给量补偿对双微梁加工的影响 | 第66-67页 |
| 4.5.2 双微梁最优加工参数 | 第67-68页 |
| 4.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 第5章 反馈控制微细电化学圆台铣削加工 | 第69-78页 |
| 5.1 铣削加工 | 第69-73页 |
| 5.1.1 刀具程序插补法 | 第69-71页 |
| 5.1.2 圆台铣削加工程序 | 第71-73页 |
| 5.2 圆台铣削实验 | 第73-77页 |
| 5.2.1 峰值电压对圆台加工的影响 | 第73-74页 |
| 5.2.2 电解液浓度对圆台铣削的影响 | 第74页 |
| 5.2.3 铣削参数对圆台加工的影响 | 第74-76页 |
| 5.2.4 圆台铣削最终实验结果 | 第76-77页 |
| 5.3 本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
