基于Al/Ni薄膜自蔓延燃烧反应的钎料互连工艺和界面反应研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 研究背景和研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-26页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 2 实验和研究方法 | 第28-40页 |
| 2.1 试验材料 | 第28-32页 |
| 2.2 自蔓延燃烧反应互连 | 第32-33页 |
| 2.3 有限元模拟分析 | 第33-38页 |
| 2.4 试验设备 | 第38-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 3 自蔓延燃烧反应互连温度场及应力场的有限元模拟 | 第40-65页 |
| 3.1 研究内容简介 | 第40页 |
| 3.2 自蔓延焊点中的温度场 | 第40-48页 |
| 3.3 自蔓延焊点中的应力场 | 第48-54页 |
| 3.4 温度及应力分布的影响因素 | 第54-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 4 自蔓延燃烧反应互连的性能及影响因素分析 | 第65-93页 |
| 4.1 研究内容简介 | 第65页 |
| 4.2 不同条件下形成的自蔓延燃烧反应互连 | 第65-81页 |
| 4.3 自蔓延燃烧反应互连的影响因素 | 第81-91页 |
| 4.4 本章小结 | 第91-93页 |
| 5 自蔓延燃烧反应互连的界面反应机理 | 第93-117页 |
| 5.1 研究内容简介 | 第93页 |
| 5.2 自蔓延焊点的微观组织形貌 | 第93-103页 |
| 5.3 自蔓延焊点的界面反应过程和结晶成相 | 第103-115页 |
| 5.4 本章小结 | 第115-117页 |
| 6 焊点微观组织在老化过程中的转变 | 第117-139页 |
| 6.1 研究内容简介 | 第117页 |
| 6.2 自蔓延焊点各材料层组织结构的转变 | 第117-127页 |
| 6.3 自蔓延焊点中界面IMC相的组织结构演变 | 第127-136页 |
| 6.4 自蔓延焊点中缺陷的演变 | 第136-138页 |
| 6.5 本章小结 | 第138-139页 |
| 7 总结和展望 | 第139-144页 |
| 7.1 全文总结 | 第139-141页 |
| 7.2 论文的创新点 | 第141-142页 |
| 7.3 研究展望 | 第142-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |
| 参考文献 | 第145-163页 |
| 附录 发表的论文和专利 | 第163页 |
