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磁控溅射法制备Cr-CrO太阳能选择吸收涂层研究

摘要第1-8页
Abstract第8-10页
第1章 绪论第10-19页
   ·选题的缘由和研究的背景第10-12页
   ·太阳能选择性吸收涂层研究现状第12-17页
     ·太阳能选择性吸收涂层的基本光学原理第12-14页
     ·太阳能选择吸收涂层分类第14-15页
     ·太阳光选择性涂层的制备方法第15-17页
   ·论文的研究内容、目标及创新点第17-19页
     ·研究内容与目标第17-18页
     ·论文的创新点第18-19页
第2章 实验装置和实验方法第19-23页
   ·薄膜的制备方法第19-21页
     ·射频磁控溅射设备第19-20页
     ·样品预处理第20-21页
     ·Cr-CrO 复合薄膜制备方法第21页
   ·薄膜分析检测方法第21-23页
     ·薄膜厚度检测第21页
     ·薄膜反射率的测量第21-23页
第3章 Ti-O 薄膜的制备及性能分析第23-27页
   ·引言第23页
   ·样品的制备及测试方法第23-24页
   ·Ti-O 薄膜的红外光谱分析第24页
   ·Ti-O 薄膜中氧含量对紫外-可见光吸收的影响及分析第24-25页
   ·小结第25-27页
第4章 CrO 薄膜制备工艺及特性研究第27-33页
   ·引言第27页
   ·CrO 薄膜制备工艺研究第27-32页
     ·氧气分压对CrO 薄膜光学性能的影响第27-28页
     ·射频源功率对CrO 薄膜光学性能的影响第28-29页
     ·镀膜时间对CrO 薄膜光学性能的影响第29-30页
     ·靶间距对CrO 薄膜光学性能的影响第30-32页
   ·小结第32-33页
第5章 梯度Cr-CrO 选择性吸收涂层的研究第33-43页
   ·引言第33页
   ·增透层对Cr-CrO 涂层反射率的影响第33-34页
   ·Cr-CrO 复合吸收亚层层数对反射率的影响第34-36页
   ·Cr-CrO 薄膜中Cr 的浓度梯度对反射率的影响第36-38页
   ·梯度Cr-CrO 涂层工艺优化及光学性能研究第38-41页
   ·小结第41-43页
第6章 总结第43-45页
参考文献第45-48页
致谢第48-49页
附录 A 攻读学位期间所发表的学术论文目录第49页

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