铝基复合材料表面多层膜的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| ·AlN颗粒增强2024铝基复合材料 | 第11-13页 |
| ·金属基复合材料的主要性能 | 第11-13页 |
| ·AlN增强2024铝基复合材料 | 第13页 |
| ·TiN的应用与制备 | 第13-15页 |
| ·TiN的特点 | 第13-14页 |
| ·TiN的应用 | 第14-15页 |
| ·TiN的制备方法 | 第15页 |
| ·电弧离子镀 | 第15-18页 |
| ·气相沉积技术特点 | 第15-16页 |
| ·电弧离子镀的简介 | 第16页 |
| ·电弧离子镀的原理 | 第16-17页 |
| ·电弧离子镀的特点 | 第17页 |
| ·电弧离子镀的应用 | 第17-18页 |
| ·DLC的应用与制备 | 第18-22页 |
| ·DLC的结构 | 第18页 |
| ·DLC的性能 | 第18-19页 |
| ·DLC的应用 | 第19-20页 |
| ·DLC的制备方法 | 第20-22页 |
| ·主要研究内容与技术方案 | 第22-24页 |
| ·主要研究内容 | 第22页 |
| ·技术方案 | 第22-24页 |
| 2 试验设备与分析表征方法 | 第24-34页 |
| ·电弧离子镀设备 | 第24-27页 |
| ·设备构成和性能 | 第24-25页 |
| ·阴极弧源 | 第25-26页 |
| ·真空系统 | 第26页 |
| ·电源系统 | 第26页 |
| ·脉冲偏压系统 | 第26-27页 |
| ·磁过滤系统 | 第27页 |
| ·DLC膜的设备 | 第27-29页 |
| ·分析表征方法 | 第29-34页 |
| ·成分结构分析 | 第29-30页 |
| ·形貌分析 | 第30-31页 |
| ·厚度测量 | 第31-32页 |
| ·硬度测量 | 第32-33页 |
| ·磨擦系数测量 | 第33页 |
| ·结合强度分析 | 第33-34页 |
| 3 多层膜的制备工艺研究 | 第34-45页 |
| ·基体材料及工艺流程 | 第34页 |
| ·基体材料 | 第34页 |
| ·工艺流程 | 第34页 |
| ·预处理 | 第34-35页 |
| ·化学镀沉积Ni-P层 | 第35-40页 |
| ·二次浸锌 | 第35-36页 |
| ·化学镀镍 | 第36-40页 |
| ·脉冲偏压磁过滤电弧离子镀沉积Ti/TiN层 | 第40-42页 |
| ·磁过滤阴极弧沉积Ti-DLC层 | 第42-43页 |
| ·本章总结 | 第43-45页 |
| 4 多层膜的性能分析 | 第45-57页 |
| ·多层膜的形貌 | 第45-48页 |
| ·多层膜的成分 | 第48-50页 |
| ·多层膜的结构 | 第50-51页 |
| ·多层膜的镀速 | 第51-52页 |
| ·多层膜的显微硬度 | 第52-53页 |
| ·多层膜的摩擦系数 | 第53-55页 |
| ·多层膜的结合强度 | 第55-56页 |
| ·本章总结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
