| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·微纳加速度计测试方法研究 | 第13-14页 |
| ·本课题要完成的任务 | 第14-16页 |
| 第二章 基于GaAs-PHEMT加速度计设计原理及结构设计 | 第16-24页 |
| ·高电子迁移率晶体管HEMT的发展 | 第16页 |
| ·GaAs 材料的特性 | 第16-17页 |
| ·HEMT器件结构及特点 | 第17-20页 |
| ·敏感单元PHEMT结构的设计 | 第20-21页 |
| ·微加速度计结构设计与加工 | 第21-22页 |
| ·传感器基本性能 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 基于GaAs-HEMT加速度计信号检测电路设计 | 第24-30页 |
| ·测试电路整体构思及分析 | 第24-25页 |
| ·测试电路设计 | 第25-29页 |
| ·电源供电及加载偏压模块设计 | 第26-27页 |
| ·差分放大电路设计 | 第27页 |
| ·滤波电路的设计 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第四章 加速度计敏感单元力学敏感效应的验证 | 第30-45页 |
| ·敏感单元基本特性测试 | 第31-36页 |
| ·电流-电压特性测试 | 第31-33页 |
| ·C-V特性测试 | 第33-35页 |
| ·力学特性测试 | 第35-36页 |
| ·其他性能测试 | 第36页 |
| ·PHEMT结构振动台实验标定 | 第36-39页 |
| ·漏极电流与漏压VD的关系 | 第37页 |
| ·漏极电流与栅压VG的关系 | 第37-39页 |
| ·PHEMT结构三维转台实验标定 | 第39-44页 |
| ·ΔI/I测试 | 第40-43页 |
| ·ΔV/V测试 | 第43-44页 |
| ·对比振动台实验数据 | 第44页 |
| ·本章总结 | 第44-45页 |
| 第五章 加速度计灵敏度、频响测试及其影响因子的分析 | 第45-60页 |
| ·灵敏度和线性度的测试 | 第45-47页 |
| ·微加速度计结构灵敏度测试 | 第47-53页 |
| ·第一批微加速度计的灵敏度测试 | 第47-50页 |
| ·第二批微加速度计的灵敏度测试 | 第50-52页 |
| ·对比分析 | 第52-53页 |
| ·偏压对线性度和灵敏度的影响 | 第53-56页 |
| ·漏源偏压对灵敏度的影响 | 第54页 |
| ·栅源偏压对灵敏度的影响 | 第54-56页 |
| ·频响测试 | 第56-59页 |
| ·第一批微加速度计频响测试 | 第57-58页 |
| ·第二批微加速度计频响测试 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 总结和展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
