微晶硅薄膜太阳能电池的研究

摘要	第4-6页
ABSTRACT	第6-7页
图表目录	第10-12页
第1章 绪论	第12-19页
1.1 VHF-PECVD 沉积系统简介	第12-13页
1.2 微晶硅薄膜沉积原理	第13-15页
1.3 微晶硅薄膜特性表征方法	第15-18页
1.4 本论文主要研究内容	第18-19页
第2章 不同硅烷浓度对薄膜特性的影响	第19-26页
2.1 不同硅烷浓度对薄膜沉积速率的影响	第19-22页
2.2 不同硅烷浓度对薄膜电学特性的影响	第22-24页
2.3 不同硅烷浓度对薄膜结构特性的影响	第24-25页
2.4 结论	第25-26页
第3章 不同辉光功率对薄膜特性的影响	第26-32页
3.1 不同辉光功率对薄膜特性的影响	第26页
3.2 不同辉光功率对薄膜沉积速率的影响	第26-28页
3.3 辉光功率对薄膜电学特性的影响	第28-31页
3.4 结论	第31-32页
第4章 不同衬底温度对薄膜特性的影响	第32-38页
4.1 衬底温度对薄膜特性的影响	第32页
4.2 衬底温度对薄膜沉积速率的影响	第32-34页
4.3 衬底温度对薄膜电学特性的影响	第34-37页
4.4 结论	第37-38页
第5章 微晶硅太阳能电池的制备及效率的研究	第38-45页
5.1 微晶硅太阳能电池的制备	第38-39页
5.2 具有籽晶层结构的太阳能电池效率的研究	第39-45页
第6章 结论与展望	第45-48页
6.1 结论	第45页
6.2 需要进一步展开的工作	第45-46页
6.3 微晶硅薄膜太阳能电池的研究现状以及展望	第46-48页
致谢	第48-49页
参考文献	第49-53页