| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题的来源和研究意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 飞秒激光加工概述 | 第10-15页 |
| 1.2.1 激光加工的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 飞秒激光加工的特点 | 第11-12页 |
| 1.2.3 飞秒激光加工的应用领域 | 第12-15页 |
| 1.3 飞秒激光焦场控制的主要方法 | 第15-17页 |
| 1.4 论文的主要内容与章节安排 | 第17-19页 |
| 2 飞秒激光加工的焦场纵横比控制理论研究 | 第19-37页 |
| 2.1 飞秒激光聚焦焦场的能量分布 | 第19-21页 |
| 2.2 飞秒激光加工的焦场纵横比控制理论 | 第21-35页 |
| 2.2.1 基于激光聚焦条件控制焦场纵横比 | 第22-27页 |
| 2.2.2 基于光束光斑形状控制焦场纵横比 | 第27-35页 |
| 2.3 本章小结 | 第35-37页 |
| 3 光阑控制的大纵横比焦场分布及大深径比金属微孔加工 | 第37-48页 |
| 3.1 飞秒激光加工系统介绍 | 第37-39页 |
| 3.2 基于光阑控制的飞秒激光焦场空间形状分析 | 第39-43页 |
| 3.2.1 飞秒激光焦场空间形状的理论分析 | 第39-41页 |
| 3.2.2 飞秒激光焦场空间形状的实验分析 | 第41-43页 |
| 3.3 飞秒激光加工大深径比金属微孔的实验研究 | 第43-47页 |
| 3.3.1 飞秒激光加工大深径比金属微孔及其形貌研究 | 第43-45页 |
| 3.3.2 飞秒激光加工1mm不绣钢板的工艺研究 | 第45-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 狭缝控制的小纵横比焦场分布及圆形截面波导加工 | 第48-61页 |
| 4.1 飞秒激光直写光波导 | 第48-50页 |
| 4.1.1 飞秒激光纵向直写光波导及其加工特性分析 | 第48-49页 |
| 4.1.2 飞秒激光横向直写光波导及其加工特性分析 | 第49-50页 |
| 4.2 狭缝对横向直写光波导的焦场能场分布及加工截面的影响 | 第50-55页 |
| 4.2.1 理论分析狭缝对焦场能场分布的影响 | 第50-52页 |
| 4.2.2 实验验证狭缝对光波导截面的影响 | 第52-55页 |
| 4.3 采用狭缝实现圆形截面光波导加工的实验研究 | 第55-60页 |
| 4.3.1 光波导截面的形状特性 | 第55-57页 |
| 4.3.2 光波导的性能测试 | 第57-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 全文总结 | 第61-62页 |
| 5.2 研究展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间主要的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
