| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 课题的目的和意义 | 第12-14页 |
| 1.2 超精密加工对纳米技术的重要意义 | 第14-19页 |
| 1.2.1 超精密加工技术 | 第14-16页 |
| 1.2.2 切削加工创成表面力学测试方法 | 第16-18页 |
| 1.2.3 超精密加工机理对发展超精密加工技术的重要性 | 第18-19页 |
| 1.3 超精密切削加工表面形成机理的研究现状 | 第19-23页 |
| 1.3.1 超精密切削加工创成表层形成机理的实验研究 | 第20-21页 |
| 1.3.2 超精密切削加工创成表层形成机理的模拟研究 | 第21-23页 |
| 1.4 超精密切削加工分子动力学仿真存在的不足 | 第23-24页 |
| 1.5 研究的意义、目的和内容 | 第24-26页 |
| 第2章 单晶铜超精密切削加工分子动力学建模 | 第26-42页 |
| 2.1 超精密切削加工及纳米力学测试分子动力学模型 | 第26-27页 |
| 2.2 分子动力学基本原理 | 第27-35页 |
| 2.2.1 牛顿运动方程及求解方法 | 第28-29页 |
| 2.2.2 模拟系统经验势函数的选择 | 第29-31页 |
| 2.2.3 模拟系统系综的选择 | 第31-33页 |
| 2.2.4 模拟系统边界条件的选择 | 第33-34页 |
| 2.2.5 其它条件的设置 | 第34-35页 |
| 2.3 纳米压痕测试基本原理 | 第35-37页 |
| 2.4 晶体结构及缺陷辨识技术 | 第37-39页 |
| 2.4.1 晶体结构 | 第37页 |
| 2.4.2 晶体缺陷分类 | 第37-38页 |
| 2.4.3 晶体缺陷分析技术 | 第38-39页 |
| 2.5 宏观统计量的提取 | 第39-40页 |
| 2.5.1 系统温度 | 第40页 |
| 2.5.2 系统压强 | 第40页 |
| 2.6 模拟及后处理软件 | 第40-41页 |
| 2.7 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 晶体铜超精密切削加工机理与纳米压痕测试 | 第42-60页 |
| 3.1 单晶铜超精密切削加工及纳米压痕测试模型 | 第42-45页 |
| 3.2 模拟结果分析 | 第45-54页 |
| 3.2.1 材料去除和表面形成过程分析 | 第45-48页 |
| 3.2.2 切削加工创成表面能量分布 | 第48-50页 |
| 3.2.3 切削加工创成表面的纳米压痕过程 | 第50-52页 |
| 3.2.4 表面硬度和弹性模量的计算 | 第52-54页 |
| 3.3 不同切削方向对切削加工创成表面的损伤 | 第54-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第4章 晶体铜超精密切削加工创成表面纳米刻划测试 | 第60-76页 |
| 4.1 单晶铜超精密切削加工及纳米刻划测试模型 | 第60-62页 |
| 4.2 模拟结果分析 | 第62-70页 |
| 4.2.1 切削加工创成表面刻划机理 | 第62-66页 |
| 4.2.2 切削加工创成表面不同深度的摩擦系数 | 第66-67页 |
| 4.2.3 切削加工创成表面力学性质的改变 | 第67-70页 |
| 4.3 刀具钝圆半径对切削加工创成表面的影响 | 第70-73页 |
| 4.3.1 刀具钝圆半径对超精密切削加工过程的影响 | 第70-72页 |
| 4.3.2 刀具钝圆半径对表面力学性质的影响 | 第72-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-76页 |
| 第5章 单晶铜超精密切削加工损伤积累及预测模型 | 第76-88页 |
| 5.1 单晶铜多次超削加工及纳米压痕测试分子动力学模型 | 第76-79页 |
| 5.2 模拟结果分析 | 第79-84页 |
| 5.2.1 二次具有纳米级加工精度超精密加工中材料变形机理 | 第79-81页 |
| 5.2.2 二次切削加工创成表面的纳米压痕测试 | 第81-84页 |
| 5.3 表面硬度的预测模型 | 第84-86页 |
| 5.4 本章小结 | 第86-88页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第88-92页 |
| 6.1 全文总结 | 第88-89页 |
| 6.2 展望 | 第89-92页 |
| 参考文献 | 第92-100页 |
| 作者简介及攻读硕士学位期间的主要科研成果 | 第100-106页 |
| 致谢 | 第106页 |
