非制冷红外微测辐射热计多孔硅绝热层热学与力学研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 红外热成像探测器概述 | 第8-13页 |
| 1.1.1 红外热成像探测器简介 | 第8页 |
| 1.1.2 红外热成像探测器的研究和发展历史 | 第8-10页 |
| 1.1.3 非制冷热成像探测器分类及基本原理 | 第10-13页 |
| 1.2 多孔硅概述及其制备方法 | 第13-18页 |
| 1.2.1 化学腐蚀法 | 第14-16页 |
| 1.2.2 电化学腐蚀法 | 第16-18页 |
| 1.3 采用多孔硅作为绝热层的新型微测辐射热计 | 第18页 |
| 1.4 相关试验数据 | 第18-19页 |
| 1.4.1 多孔硅绝热层热学性质实验数据 | 第18-19页 |
| 1.4.2 多孔硅绝热层力学性质实验数据 | 第19页 |
| 1.5 本论文研究内容及所采用的研究方法 | 第19-20页 |
| 第二章 相关理论与微裂纹模型思想 | 第20-24页 |
| 2.1 热学相关理论 | 第20-21页 |
| 2.1.1 固体材料热传导的宏观规律 | 第20页 |
| 2.1.2 固体材料热传导的微观机理 | 第20-21页 |
| 2.2 力学相关理论 | 第21-22页 |
| 2.3 微裂纹模型与本文模型建立思想 | 第22-24页 |
| 2.3.1 微裂纹模型简介 | 第22-23页 |
| 2.3.2 本文的建模思想 | 第23-24页 |
| 第三章 多孔硅绝热层热学性质数学建模研究 | 第24-34页 |
| 3.1 垂直于衬底的纵向孔建模 | 第24-26页 |
| 3.2 平行于衬底的横向孔建模 | 第26-29页 |
| 3.3 综合建模 | 第29-34页 |
| 第四章 多孔硅绝热层力学性质数学建模研究 | 第34-44页 |
| 4.1 垂直于衬底的纵向孔建模 | 第34-36页 |
| 4.2 平行于衬底的横向孔建模 | 第36-39页 |
| 4.3 综合建模 | 第39-44页 |
| 第五章 多孔硅绝热层热学性质有限元仿真验证 | 第44-53页 |
| 5.1 纵向孔洞分析 | 第44-49页 |
| 5.2 横向分支孔洞分析 | 第49-53页 |
| 第六章 多孔硅绝热层力学性质有限元仿真验证 | 第53-60页 |
| 6.1 纵向孔分析 | 第53-57页 |
| 6.2 横向分支孔洞分析 | 第57-60页 |
| 第七章 总结 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
