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钛酸锶钡和氧化铈薄膜的制备及物理性能表征

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 引言第10-19页
    1.1 钛酸锶钡材料研究背景第10-12页
        1.1.1 钛酸锶钡材料概述第10-11页
        1.1.2 BST薄膜研究意义第11-12页
    1.2 BST薄膜结构与性能关系第12-13页
    1.3 BST薄膜的研究现状第13-16页
        1.3.1 BST掺杂改性第14-15页
        1.3.2 用于生长BST薄膜的缓冲层第15-16页
    1.4 CeO_2 研究背景第16-18页
        1.4.1 CeO_2 高k性能第16-17页
        1.4.2 CeO_2 缓冲层研究第17-18页
    1.5 论文的研究内容及意义第18-19页
第2章 外延CeO_2薄膜的制备与性能表征第19-33页
    2.1 薄膜的制备方法第19-21页
        2.1.1 脉冲激光沉积法(PLD)第20-21页
        2.1.2 磁控溅射法第21页
    2.2 实验过程第21-22页
    2.3 样品结构与性能表征第22-23页
        2.3.1 X射线衍射(XRD)第22-23页
        2.3.2 原子力显微镜(AFM)第23页
    2.4 结果与讨论第23-25页
        2.4.1 Si衬底的取向对CeO_2 薄膜结构的影响第23-25页
    2.5 外延CeO_2 薄膜性能分析第25-31页
        2.5.1 不同厚度CeO_2 薄膜样品的表面形貌第26页
        2.5.2 厚度对CeO_2 薄膜C-V特性的影响第26-31页
        2.5.3 厚度对CeO_2 薄膜I-V特性的影响第31页
    2.6 结论第31-33页
第3章 Si基高度择优BST薄膜制备与性能第33-39页
    3.1 实验方法第33页
    3.2 结果与讨论第33-37页
        3.2.1 结构表征第33-35页
        3.2.2 电学性能测试分析第35-37页
    3.3 结论第37-39页
第4章 含CeO_2缓冲层的硅基LSCO/BST/LSCO电容器性能表征第39-46页
    4.1 Pt/LSCO/BST/LSCO/CeO_2/Si异质结电容器的制备第39-40页
    4.2 结果与讨论第40-45页
    4.3 结论第45-46页
第5章 非晶Ni-Ti阻挡层对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜的结构和物性的影响第46-53页
    5.1 Pt/BST/Pt和Pt/Ni-Ti/BST/Ni-Ti/Pt电容器的制备第46-47页
    5.2 结果与讨论第47-52页
        5.2.1 BST/Pt和BST/Ni-Ti/Pt异质结结构表征第47-48页
        5.2.2 Pt/BST/Pt和Pt/Ni-Ti/BST/Ni-Ti/Pt电容器的铁电性能分析第48页
        5.2.3 Pt/BST/Pt和Pt/Ni-Ti/BST/Ni-Ti/Pt电容器的介电性能分析第48-52页
    5.3 结论第52-53页
结语第53-55页
参考文献第55-61页
致谢第61-62页
攻读硕士期间发表的学术论文第62页

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